[发明专利]超导带材缓冲层双面镀膜装置

权利要求书

1.一种超导带材缓冲层双面镀膜装置，包括水平间隔设置的放卷盘和收卷盘，其特征是：在放卷盘的一侧设置导向轮a和导向轮b，导向轮a和导向轮b上下设置且在同一轴线，在放卷盘的左侧设有导向轮c，该导向轮c与放卷盘下方的导向轮b在同一水平线上，在导向轮c的上方设有导向轮d，导向轮c和导向轮d在同一轴线上，在导向轮d的水平方向设有导向轮e，导向轮e下方同一轴线上设有导向轮f，导向轮f与收卷盘外侧的导向轮g在同一水平线上，基带从放卷盘输出经过上述各个导向轮进入收卷盘，在导向轮c和导向轮d上的基带左侧设有正面镀膜装置，在导向轮e和导向轮f上的基带左侧设有反面镀膜装置。

2.根据权利要求1所述的超导带材缓冲层双面镀膜装置，其特征是：导向轮c和导向轮d设置在溅射腔a内，正面镀膜装置固定在溅射腔a内壁上，导向轮e和导向轮f设置在溅射腔b内，反面镀膜装置固定在溅射腔b内壁上，溅射腔a和溅射腔b上端通过过渡腔联通，经过导向轮d和导向轮e的基带位于过渡腔内。