[发明专利]一种溶剂生产设备、溶剂制备及取用方法在审

专利信息
申请号: 201910041575.0 申请日: 2019-01-16
公开(公告)号: CN109696802A 公开(公告)日: 2019-04-30
发明(设计)人: 顾大公;毛智彪;许从应;马潇;岳力挽;樊丹 申请(专利权)人: 宁波南大光电材料有限公司
主分类号: G03F7/004 分类号: G03F7/004
代理公司: 深圳盛德大业知识产权代理事务所(普通合伙) 44333 代理人: 贾振勇
地址: 315800 浙江省宁波市北仑区*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 溶剂 生产设备 氮气 取料 取用 压料 制备 循环过滤组件 制备技术领域 颗粒度控制 氮气环境 取用系统 时间保持 循环过滤 制备系统 光刻胶 颗粒度 过滤 密封
【权利要求书】:

1.一种溶剂生产设备,其特征在于,包括:

制备系统,包括原料储存罐、溶剂储存罐、循环过滤器及输送泵,所述溶剂储存罐上设有进液口、出气口及吸液管,所述吸液管的下端深入至所述溶剂储存罐底部,所述循环过滤器和所述输送泵通过管路串连成一循环过滤组件,所述循环过滤组件的进入口通过带第一开关阀门的通气管与氮气气源连接,其排出口连接所述进液口,所述原料储存罐通过带进料阀门的进气管路与所述循环过滤组件的进入口连接,所述出气口通过出气管路与所述氮气气源连接,所述吸液管上端通过循环管路与所述循环过滤组件的进入口连接;以及

取用系统,包括取用过滤器及取用瓶,所述取用过滤器的进液口通过带取液阀门的取液管路与所述吸液管连接,所述取用过滤器的出液口通过出液管路与所述取用瓶连接,所述出液管路通过带第二开关阀门的进气管路与所述氮气气源连接。

2.如权利要求1所述的溶剂生产设备,其特征在于,所述进液口和所述出气口及所述吸液管上均设有密封阀门。

3.如权利要求1所述的溶剂生产设备,其特征在于,所述通气管上还设有第三开关阀门,所述第三开关阀门靠近所述循环过滤组件的进入口。

4.如权利要求3所述的溶剂生产设备,其特征在于,所述循环管路与所述通气管连接,并通过所述第三开关阀门与所述循环过滤组件的进入口连接。

5.如权利要求1所述的溶剂生产设备,其特征在于,所述出气管路与所述通气管连接,并通过所述第一开关阀门连接所述氮气气源。

6.如权利要求1所述的溶剂生产设备,其特征在于,所述取用过滤器的出液口通过一出液阀门与所述出液管路连接,所述取液管路通过所述循环管路与所述吸液管连接。

7.如权利要求1所述的溶剂生产设备,其特征在于,所述进气管路与所述通气管连接,并通过所述第一开关阀门连接所述氮气气源。

8.如权利要求1所述的溶剂生产设备,其特征在于,所述出液管路为一带阀门的软性伸缩管。

9.一种溶剂制备方法,其特征在于,应用于权利要求1-8任一项所述的溶剂生产设备当中,所述溶剂制备方法包括:

在氮气环境下连接所述进气管路和原料储存罐;

启用输送泵将溶剂从所述原料储存罐中转移到溶剂储存罐当中;

利用所述输送泵输送所述溶剂储存罐当中的溶剂循环经过循环过滤器,以对所述溶剂储存罐当中的溶剂进行循环过滤;

当所述溶剂储存罐当中的溶剂的颗粒度测试合格后,停止循环过滤并关闭所有阀门。

10.一种溶剂取用方法,其特征在于,应用于权利要求1-8任一项所述的溶剂生产设备当中,所述溶剂取用方法包括:

在氮气环境下连接所述出液管路和取用瓶;

向溶剂储存罐中通入氮气,以利用氮气压力压迫所述溶剂储存罐中的溶剂依次流入取用过滤器、所述出液管路及取用瓶;

当所述取用瓶当中接受到规定量的溶剂后,停止取液,并向所述出液管路中通入氮气,以吹扫管路。

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