[发明专利]一种铝旋转靶材及其制造方法

说明书

本发明提出了一种铝旋转靶材的制造方法，包括S1、制造平均粒径D₅₀为10‑80μm的铝粉末；S2、以不锈钢管或钛管作为靶材基管，对靶材基管进行表面喷砂处理；S3、冷喷涂成型：将制造的铝粉末装入冷喷涂送粉器内，将处理后的靶材基管安装在传动设备上，使其自转，冷喷涂喷枪与靶材基管做水平方向相对运动，制得靶材；S4、喷涂好的靶材进行机加工成所需要的尺寸和精度，制得成品。本发明制造铝旋转靶材的制造工艺简单，制造得到的铝旋转靶材的密度远高于传统热喷涂技术，相对密度可达到95‑99％，而氧含量低于传统热喷涂技术，晶粒组织均匀细化，良率高，粉末利用率高，易于规模化生产。

技术领域

本发明涉及一种旋转靶材，特别涉及一种铝旋转靶材，本发明还涉及该铝旋转靶材的制造方法。

背景技术

由于光学玻璃、触摸屏等行业的快速发展，对铝旋转靶材的需求量越来越大，另外对对铝旋转靶材的品质要求也越来越高。现有的铝靶在镀膜过程中利用率不高，造成旋转靶材的生产成本居高不下。

发明内容

有鉴于此，本发明的目的在于提出一种铝旋转靶材及其制造方法。该方法制造得到的铝旋转靶材品质好，靶材在镀膜过程中的利用率高，大幅度降低旋转靶材的生产成本。

为解决上述技术问题，本发明采用以下技术方案予以实现：

一种铝旋转靶材的制造方法，包括如下步骤：

S1、制造平均粒径D₅₀为10-80μm的铝粉末；

S2、以不锈钢管或钛管作为靶材基管，对靶材基管进行表面喷砂处理；

S3、冷喷涂成型：将制造的D₅₀为1-120μm的铝粉末装入冷喷涂送粉器内，将处理后的靶材基管安装在传动设备上，使其自转，冷喷涂喷枪与靶材基管做水平方向相对运动，制得靶材；

S4、喷涂好的靶材进行机加工成所需要的尺寸和精度，制得成品。

作为优选地，所述步骤S1中，铝粉末粒径D₅₀为20-60μm。

作为优选地，所述步骤S2中，靶材基管喷砂粗化处理之前需要进行预处理，包括去除基管表面污垢和氧化层。

作为优选地，所述步骤S2中，靶材基管喷砂粗化处理后的基管表面粗糙度为Ra1.5～500μm。

作为优选地，所述步骤S3中，冷喷涂成型工艺为：主气压力为2-10Mpa，送粉气压力为2.1-10.1Mpa，主气加热温度300-1000℃，喷涂距离15-100mm，所得相对密度95-99％的铝旋转靶材。

本发明还提出了一种铝旋转靶材，该铝旋转靶材采用上述的制造方法制得。

本发明与现有技术相比具有的有益效果为：

本发明制造铝旋转靶材的制造工艺简单，制造得到的铝旋转靶材的密度远高于传统热喷涂技术，相对密度可达到95-99％，而氧含量＜1500ppm，氧含量低于传统热喷涂技术，晶粒组织均匀细化，良率高，粉末利用率高，易于规模化生产。

具体实施方式

为让本领域的技术人员更加清晰直观的了解本发明，下面将对本发明作进一步的说明。

本发明的铝旋转靶材的制造方法，包括如下步骤：

S1、制造平均粒径D50为10-80μm的铝粉末，优选20-60μm；

S2、以不锈钢管或钛管作为靶材基管，对靶材基管进行表面去除基管表面污垢和氧化层，然后进行喷砂处理，使表面粗糙度达到Ra1.5～500μm；