[发明专利]负型感光性树脂组合物及其用途

权利要求书

1.一种负型感光性树脂组合物，包括：

(A)10重量百分比至50重量百分比的聚硅氧烷化合物，其由如式(a-1)、(a-2)及(a-3)所式的硅氧烷单体聚合而成，且(a-3)所示的硅氧烷单体占该聚硅氧烷化合物的总摩尔数的10mol％至50mol％；

其中，R₁各自独立为C_1-6烷基；

R₂为C_6-20环烷基或C_6-20芳基；

R₃各自独立选自由C_1-6烷氧基以及芳氧基所组成的群组；

R₄各自独立为C_1-6烷基；以及

R₅为C_6-20烷基；

(B)0.1重量百分比至30重量百分比的硅酸酯寡聚物；

(C)0.1重量百分比至10重量百分比的光酸产生剂；以及

(D)余量溶剂。

2.如权利要求1所述的负型感光性树脂组合物，其中，R₅为直链C_6-20烷基。

3.如权利要求1所述的负型感光性树脂组合物，其中，该硅酸酯寡聚物如下式(b-1)所示：

其中，R₆各自独立为C_1-6烷基；以及

n为2至10的整数。

4.如权利要求1所述的负型感光性树脂组合物，其中，该聚硅氧烷化合物由如式(a-1)、(a-2)及(a-3)所示的硅氧烷单体聚合而成，式(a-1)所示的硅氧烷单体占该聚硅氧烷化合物的总摩尔数的10mol％至60mol％，而式(a-2)所示的硅氧烷单体占该聚硅氧烷化合物的总摩尔数的30mol％至70mol％。

5.如权利要求1所述的负型感光性树脂组合物，其中，该聚硅氧烷化合物由如式(a-1)、(a-2)及(a-3)所示的硅氧烷单体所聚合而成，式(a-1)所示的硅氧烷单体占该聚硅氧烷化合物的总摩尔数的25mol％至40mol％，式(a-2)所示的硅氧烷单体占该聚硅氧烷化合物的总摩尔数的45mol％至55mol％，而(a-3)所示的硅氧烷单体占该聚硅氧烷化合物的总摩尔数的10mol％至25mol％。

6.如权利要求1所述的负型感光性树脂组合物，其中式(a-1)所示的硅氧烷单体为四乙氧基硅烷。

7.如权利要求1所述的负型感光性树脂组合物，其中式(a-2)所示的硅氧烷单体为苯基三甲氧基硅烷。

8.如权利要求1所述的负型感光性树脂组合物，其中式(a-3)所示的硅氧烷单体为癸基三甲氧基硅烷或己基三甲氧基硅烷。

9.如权利要求3所述的负型感光性树脂组合物，其中式(b-1)所示的该硅酸酯寡聚物如下式(b-2)所示：

10.如权利要求1所述的负型感光性树脂组合物，其中该光酸产生剂为一离子型光酸产生剂或一非离子型光酸产生剂。

11.如权利要求1所述的负型感光性树脂组合物，其中该光酸产生剂如下式(c-1)至(c-4)任一者所示：

12.如权利要求1所述的负型感光性树脂组合物，其中该聚硅氧烷化合物的分子量为1000克/摩尔至8000克/摩尔。

13.一种如权利要求1至12任一项所述的负型感光性树脂组合物的用途，用于低温固化工艺，其中，低温指120℃以下。

14.如权利要求13所述的用途，其中，温度为80℃至120℃。