[发明专利]掩膜板及其制作方法在审
| 申请号： | 201910043930.8 | 申请日： | 2019-01-17 |
| 公开（公告）号： | CN109628881A | 公开（公告）日： | 2019-04-16 |
| 发明（设计）人： | 袁鹏程;翟中远;王永茂;曾望明;张文畅 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/12;C23C14/24;H01L51/56 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 刘伟;张博 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 掩膜板 蒸镀 遮挡 表面设置 导流槽 开口部 制作 清洗 残留 | ||
1.一种蒸镀掩膜板，包括：
开口部，对应于至少一个待蒸镀区域；
遮挡部，对应于所述待蒸镀区域之外的非蒸镀区域；
其特征在于，所述遮挡部的表面设置有导流槽。
2.根据权利要求1所述的蒸镀掩膜板，其特征在于，
所述导流槽的深度为所述蒸镀掩膜板的厚度的30％-50％。
3.根据权利要求1所述的蒸镀掩膜板，其特征在于，所述遮挡部的长度方向为第一方向，所述导流槽包括至少一个延伸方向与所述第一方向平行的第一导流槽。
4.根据权利要求3所述的蒸镀掩膜板，其特征在于，所述第一导流槽延伸至所述遮挡部的边缘。
5.根据权利要求1所述的蒸镀掩膜板，其特征在于，所述遮挡部的宽度方向为第二方向，所述导流槽包括至少一个延伸方向与所述第二方向平行的第二导流槽。
6.根据权利要求5所述的蒸镀掩膜板，其特征在于，所述第二导流槽延伸至所述遮挡部的边缘。
7.一种蒸镀设备，其特征在于，包括如权利要求1-6中任一项所述的蒸镀掩膜板。
8.一种蒸镀掩膜板的制作方法，所述蒸镀掩膜板包括：开口部，对应于至少一个待蒸镀区域；遮挡部，对应于所述待蒸镀区域之外的非蒸镀区域，其特征在于，所述制作方法包括：
在所述遮挡部的表面形成导流槽。
9.根据权利要求8所述的蒸镀掩膜板的制作方法，其特征在于，所述遮挡部的长度方向为第一方向，所述在所述遮挡部的表面形成导流槽包括：
形成至少一个延伸方向与所述第一方向平行的第一导流槽。
10.根据权利要求8所述的蒸镀掩膜板的制作方法，其特征在于，所述遮挡部的宽度方向为第二方向，所述在所述遮挡部的表面形成导流槽包括：
形成至少一个延伸方向与所述第二方向平行的第二导流槽。
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