[发明专利]基于片光显微和共焦狭缝探测的谐波显微测量方法

权利要求书

1.基于片光显微和共焦狭缝探测的谐波显微测量方法，飞秒激光脉冲经扫描振镜反射后进入转接光学系统进行球差补偿，接着由显微物镜会聚在样品内部形成谐波信号发生所需的激发聚焦光斑，样品激发出的谐波信号，被垂直于照明方向的探测物镜收集后经过窄带滤光片滤除杂散光，被工作在滚动快门模式的sCMOS接收探测，扫描过程与滚动快门对接同步，通过算法合成不同位置像素的谐波图像，其特征在于sCMOS探测器滚动快门工作模式为每次读取有效区域顶端一行像素的数据同时，激活有效区域底端一行像素开始曝光，滚动快门依次读取和激活，固定大小的有效像素区域从传感器顶部至底部移动，移动速率与扫描振镜速率协同配合，实现共焦狭缝探测。