[发明专利]一种基于石英振梁的六轴力传感器敏感结构在审
| 申请号： | 201910045465.1 | 申请日： | 2019-01-17 |
| 公开（公告）号： | CN110274725A | 公开（公告）日： | 2019-09-24 |
| 发明（设计）人： | 杨军;胡鸿 | 申请（专利权）人： | 上海肇擎传感技术有限公司 |
| 主分类号： | G01L5/16 | 分类号： | G01L5/16 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 201507 上海市青浦区天辰*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 石英 六轴力传感器 固定螺纹 敏感结构 谐振频率 芯片 应变梁 传感器 拉伸 内环 机器人领域 敏感芯片 受力变形 弯曲变形 谐振式力 应用提供 灵敏度 变化量 成正比 压缩量 侧梁 减小 测量 压缩 | ||
【权利要求书】：
1.一种基于石英振梁的六轴力传感器敏感结构，包括外环(1)、外环固定螺纹(2)、侧梁(3)、应变梁(4)、内环(5)、内环固定螺纹(6)和石英振梁芯片(7)，其特征在于：所述外环(1)上间隔均匀的开设有若干个外环固定螺纹(2)，所述内环(5)上间隔均匀的开设有若干个内环固定螺纹(6)，所述内环(5)与外环(1)之间通过三个或三个以上的应变梁(4)进行连接，并在其中至少三个应变梁(4)上布置石英振梁芯片(7)，所述石英振梁芯片(7)的两端采用粘接或焊接的方法，分别固定于应变梁(4)的两端。
2.根据权利要求1所述的一种基于石英振梁的六轴力传感器敏感结构，其特征在于：每个所述应变梁(4)的四个面上均固定设置有豁槽。
3.根据权利要求1所述的一种基于石英振梁的六轴力传感器敏感结构，其特征在于：所述石英振梁芯片(7)的中轴线与应变梁(4)的中轴线重合。
4.根据权利要求1所述的一种基于石英振梁的六轴力传感器敏感结构，其特征在于：所述石英振梁芯片(7)通过金丝焊接、导电胶粘接和软钎焊等方式与外围测绘电路进行连接。
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