[发明专利]一种多层复合结构导体制成的线圈气密性检测方法

权利要求书

1.一种多层复合结构导体制成的线圈气密性检测方法，其特征在于：在线圈的轴向两端分别密封加装带有打气管的封头，以对线圈的内部进行气密封，将线圈、封头整体放入真空室，并使打气管与外部氦气源连接构成气压回路，在真空室真空条件下外部氦气源向线圈的内部通入氦气，通过氦质谱检漏仪检测多层复合结构导体绕制成的线圈的漏率Q，漏率的计算公式如下：

公式(1)中，I为泄露漏率对应的检漏仪的输出信号值，I₁为标准漏孔漏率对应检漏仪的输出信号值，I₀为系统氦本底对应检漏仪的输出信号值，C为线圈内部的氦气浓度C，Q₀为系统的标定漏率。

2.根据权利要求1所述的一种多层复合结构导体制成的线圈气密性检测方法，其特征在于：采用一个氦质谱检漏仪，首先使用标准漏孔与氦质谱检漏仪连接，对氦质谱检漏仪进行标定操作之后，标准漏孔在氦质谱检漏仪上的输出信号值为系统的标定漏率Q₀；然后取下标准漏孔，将氦质谱检漏仪与装有多层复合结构导体绕制成的线圈的容器连接，同时，待检线圈的容器与标准漏孔连接，并可以通过真空阀门使连接开启或关闭；在检漏过程中，关闭真空阀门使漏孔与容器不连接时，检漏仪检测到的稳定的信号为系统氦本底I₀，打开真空阀门使漏孔与容器相连接时，检漏仪检测到的输出的信号为标准漏孔漏率对应的输出信号值I₁，然后关闭真空阀门使漏孔与容器不连接，在线圈内部施加3MPa氦气后，检漏仪检测到的稳定的信号为泄露漏率对应的氦质谱检漏仪的输出信号值I。

3.根据权利要求1所述的一种多层复合结构导体制成的线圈气密性检测方法，其特征在于：线圈放入真空室前，对线圈整体进行清洁脱脂。

4.根据权利要求1所述的一种多层复合结构导体制成的线圈气密性检测方法，其特征在于：所述封头包括内、外管体，内、外管体各自一端管口封闭，其中内管体的另一端管口焊接于线圈轴向对应端内壁，外管体的另一端管口焊接于线圈轴向对应端的外壁，且外管体套在内管体外，内、外管体的封闭端留有气孔，所述打气管同时焊接于内、外管体的气孔，打气管一端通向内管体内部，打气管另一端通向外管体外部，其中一个封头的打气管作为进气管与外部氦气源连通，另一个封头的打气管作为出气管与外部氦气源连通，由此构成气压回路。

5.根据权利要求4所述的一种多层复合结构导体制成的线圈气密性检测方法，其特征在于：所述打气管与气孔焊接后，通过焊丝将气孔的缝隙填满。

6.根据权利要求4所述的一种多层复合结构导体制成的线圈气密性检测方法，其特征在于：所述内、外管体与线圈对应的焊接位置采用气泡法或吸枪法检漏和排漏，打气管与气孔的焊接采用气泡法或吸枪法检漏和排漏，打气管和外部氦气源之间连接处采用气泡法或吸枪法检漏和排漏。

7.根据权利要求1所述的一种多层复合结构导体制成的线圈气密性检测方法，其特征在于：真空室中首先采用粗抽泵进行粗抽，当真空室内抽至达到分子泵启动要求时，再启动分子泵对真空室内进一步抽真空，使真空室内形成真空条件。

8.根据权利要求1所述的一种多层复合结构导体制成的线圈气密性检测方法，其特征在于：真空室内真空条件为真空度达到10-4mbar。