[发明专利]一种用于激射350nm激光的全固体激光器

说明书

本发明公开了一种用于激射350nm激光的全固体激光器，包括用于产生激光源的966nmLD激光泵浦和光纤耦合镜，光纤耦合镜用于整合966nmLD激光泵浦产生激光的光斑，激光器还包括平平镜、平凹镜和滤镜，且在平平镜与平凹镜之间设置有按照指定比例掺有Er的YSGG晶体，平平镜、平凹镜、YSGG晶体和滤镜依次设置在同一轴线上；平平镜和平凹镜组合形成激光器的谐振腔，平平镜的镀膜系数为：350nm、540nm～558nm、650nm～675nm波长激光反射率大于99.9％，以及966nm波长激光的透过率大于95％；平凹镜按照连续和脉冲的输出条件设置不同的镀膜系数；YSGG晶体用作激光器的增益介质；滤镜用于滤除350nm波长激光外的所有从激光器发射出来的光；本发明整体结构简单，可以直接激射出350nm的激光，且具有良好的光斑光束质量。

技术领域

本发明属于光学器件领域，尤其涉及激光器器件，具体涉及一种用于激射350nm激光的全固体激光器。

背景技术

固体紫外激光器按泵浦方式分为氙灯泵浦紫外激光器、氪灯泵浦紫外激光器以及新型的激光二极管泵浦全固态激光器。但固体紫外激光器光电转换效率一般较低，紫光二极管向更短波长发展时，会在光子限制、非辐射过程、维持粒子数反转等方面带来新的难题。全固态紫外激光谱线产生的方法一般有两种，一是直接对红外全固体激光器进行腔内或腔外3倍频或4倍频来得到紫外激光谱线；二是先利用倍频技术得到二次谐波然后再利用和频技术得到紫外激光谱线。

气体激光器包括以脉冲方式工作的准分子激光器、以连续方式工作的离子激光器和氦-镉激光器以及金属蒸气紫外激光器。气体紫外激光器的波长依赖于所使用的气体混合物类型。金属蒸气紫外激光器主要指铜蒸气紫外激光器，它产生波长为511nm和578nm的光，利用混频和倍频则可产生波长为255nm，271nm和289nm的紫外辐射。激光器光束分布服从高斯分布。气体激光器应用中的突出问题是设备占地面积大、可靠性有限、寿命短、高能耗和高费用。而且，准分子激光光束质量差，掩膜损失大。离子激光器和氦-镉激光器存在光束方向稳定性差的缺点。

中紫外波段是ALGaN激光二极管发展的重点方向；因为该波段紫外辐射的激发效率最高，其输出效率也比较高。为了使紫外线辐射源更为实用化，半导体紫外二极管发展的一个方向是大幅缩小现有紫外激光器及其电源的体积和功耗，另一个方向是开发发射波长为280nm、功耗小于10mW的发光二极管以及发射波长为340nm、功耗小于25mW的激光二极管

综上可知，现有的紫外波长固体激光器或气体激光器均存在设备复杂程度较高，体积很大，价格昂贵的问题；但随着技术的发展，对于紫外波长的半导体激光器复杂的异质结结构和很高的电流密度对半导体材料提出了很高的要求，目前的紫外半导体激光器只能到达370nm并且功率不是特别高，无法满足要求。

发明内容

针对上述现有技术中紫外波长固体激光器和气体激光器整体设备复杂程度高、体积大、价格昂贵，以及产生的激光波长无法满足现有的生成需求的问题，本发明于提出一种用于激射350nm激光的全固体激光器；该全固体激光器利用非常简单的装置直接激射出350nm，具有固体激光器拥有的较好的光斑光束质量，又避免了像目前固体激光器和气体激光器设备复杂度高和体积很大的问题，具体技术方案如下：