[发明专利]压阻式加速度传感器

权利要求书

1.一种压阻式加速度传感器，其特征在于，包括：

框架(1)，内部设有活动腔；

质量块(2)，活动设于所述活动腔中；

敏感梁(3)，长轴两端分别通过设有压敏元件(43)的测量段(4)与所述框架(1)和所述质量块(2)连接；以及

第一支撑梁(5)，长轴两端分别与所述敏感梁(3)的中部和所述框架(1)连接，所述第一支撑梁(5)在所述质量块(2)感测方向上的刚度小于在与质量块(2)感测方向垂直的方向上的刚度；

所述第一支撑梁(5)在所述质量块(2)感测方向上的厚度小于所述敏感梁(3)在所述质量块(2)感测方向上的厚度。

2.如权利要求1所述的压阻式加速度传感器，其特征在于：所述测量段(4)包括敏感细梁(41)；所述敏感细梁(41)的长轴两端分别与所述敏感梁(3)端部和所述质量块(2)连接；所述敏感细梁(41)的宽度方向垂直于所述质量块(2)的感测方向，所述敏感梁(3)的宽度方向垂直于所述质量块(2)的感测方向，所述敏感细梁(41)的宽度小于敏感梁(3)的宽度；所述敏感细梁(41)宽度方向上的一侧设有最小距离限位块(42)，所述最小距离限位块(42)位于所述敏感梁(3)的端面和所述质量块(2)之间。

3.如权利要求2所述的压阻式加速度传感器，其特征在于：所述敏感细梁(41)的厚度方向平行于所述质量块(2)的感测方向，所述敏感梁(3)的厚度方向平行于所述质量块(2)的感测方向，所述敏感细梁(41)的厚度小于所述敏感梁(3)的厚度；所述压敏元件(43)设于所述敏感细梁(41)厚度方向上的一侧。

4.如权利要求1所述的压阻式加速度传感器，其特征在于：所述敏感梁(3)位于所述活动腔内且平行于所述质量块(2)靠近所述敏感梁(3)的侧边，所述第一支撑梁(5)位于所述活动腔内并处于所述敏感梁(3)远离所述质量块(2)的一侧，所述第一支撑梁(5)与所述敏感梁(3)平行设置。

5.如权利要求1至4任一项所述的压阻式加速度传感器，其特征在于：所述压阻式加速度传感器还包括：

第二支撑梁(6)，长轴两端分别与所述质量块(2)和所述框架(1)连接，所述第二支撑梁(6)在所述质量块(2)感测方向上的厚度小于所述敏感梁(3)在所述质量块(2)感测方向上的厚度。

6.如权利要求5所述的压阻式加速度传感器，其特征在于：所述第二支撑梁(6)包括：

主体段(61)，位于所述活动腔内且平行于所述质量块(2)靠近所述主体段(61)的侧边；

第一弯折段(62)，与所述主体段(61)呈夹角设置，一端与所述主体段(61)的一端连接，另一端与所述质量块(2)连接；以及

第二弯折段(63)，与所述主体段(61)呈夹角设置，一端与所述主体段(61)的另一端连接，另一端与所述质量块(2)连接。

7.如权利要求1至4任一项所述的压阻式加速度传感器，其特征在于：所述质量块(2)设有多个第一贯通孔(21)，所述第一贯通孔(21)沿所述质量块(2)感测方向贯穿所述质量块(2)，所述第一贯通孔(21)为矩形孔。

8.如权利要求1至4任一项所述的压阻式加速度传感器，其特征在于：所述活动腔在所述框架(1)位于所述质量块(2)感测方向上的两侧分别形成开放口；

所述压阻式加速度传感器，还包括：

衬底(7)，与所述框架(1)连接，封闭一个所述开放口；以及

盖板(8)，与所述框架(1)连接，封闭另一个所述开放口；

所述质量块(2)面向所述衬底(7)的表面设有限位槽(22)，所述限位槽(22)靠近所述盖板(8)一侧的内壁设有第二贯通孔(23)，所述第二贯通孔(23)沿所述质量块(2)感测方向贯穿所述质量块(2)，所述衬底(7)设有用于与所述限位槽(22)靠近所述盖板(8)一侧的内壁抵接并限制所述质量块(2)与所述衬底(7)的最小间距的限位凸起(71)。

9.一种移动设备，其特征在于，包括：如权利要求1至8任一项所述的压阻式加速度传感器。