[发明专利]脉冲交流放电电路及其控制方法、脉冲交流放电装置

说明书

本发明公开了一种脉冲交流放电电路及其控制方法、脉冲交流放电装置。该脉冲交流放电电路包括：高压放电模块的多个第二控制信号输入端与多个控制信号输出端一一对应电连接；高压放电模块用于根据多个第二控制信号输入端输入的控制信号，在第一放电电压输出端和第二放电电压输出端输出极性相反的电压；间隔排布的第一放电极组和第二放电极组，第一放电极组与第一放电电压输出端电连接，第二放电极组与第二放电电压输出端电连接。本发明能够降低消电距离较近时和在输出频率降低时，降低平衡电压波动，提升了脉冲交流放电装置的性能，有利于其在电子行业的应用。

技术领域

本发明实施例涉及静电技术领域，尤其涉及一种脉冲交流放电电路及其控制方法、脉冲交流放电装置。

背景技术

静电消除技术在半导体等电子行业、喷涂、印刷、纺织、医药设备、建材和注塑等行业正在得到日益广泛的应用。

在现有技术中，脉冲交流放电装置可实现同一种(或一排)电极针上，在同一时刻(或上半周期)输出同种极性的离子，在下一时刻(或下半周期)输出与上一时刻(或上半周期)相反极性的同极性离子。然而，现有的脉冲交流放电装置存在在距离电极针较近空间内的正负离子的平衡电压波动剧烈，以及在低频率工作状态下正负离子的平衡电压波动剧烈的问题，导致了现有的脉冲交流放电装置会对静电敏感性器件(例如，超大规模集成电路，特别是金属氧化膜半导体(MOS)器件，如微控制器、单片机、光电耦合器等)产生较严重的静电放电事故，不利于其在电子行业的应用。

发明内容

本发明提供一种脉冲交流放电电路及其控制方法、脉冲交流放电装置，以降低正负离子的平衡电压波动，提升脉冲交流放电装置的性能。

第一方面，本发明实施例提供了一种脉冲交流放电电路，该脉冲交流放电电路包括：

高压幅值输出控制模块，包括电源输入端、第一高压输出端和第二高压输出端，所述电源输入端与供电电源电连接；

控制模块，包括第一控制信号输入端和多个控制信号输出端，所述第一控制信号输入端与控制输入模块电连接；

高压放电模块，包括多个第二控制信号输入端、第一高压输入端、第二高压输入端、第一放电电压输出端和第二放电电压输出端，所述多个第二控制信号输入端与所述多个控制信号输出端一一对应电连接，所述第一高压输入端与所述第一高压输出端电连接，所述第二高压输入端与所述第二高压输出端电连接；所述高压放电模块用于根据所述多个第二控制信号输入端输入的控制信号，在所述第一放电电压输出端和第二放电电压输出端输出极性相反的电压；

间隔排布的第一放电极组和第二放电极组，所述第一放电极组与所述第一放电电压输出端电连接，所述第二放电极组与所述第二放电电压输出端电连接。

第二方面，本发明实施例还提供了一种如本发明任意实施例所述的脉冲交流放电电路的控制方法，该脉冲交流放电电路的控制方法包括：

所述控制模块向所述高压放电模块输出多个控制信号，控制所述高压放电模块的第一放电电压输出端和第二放电电压输出端输出的电压极性相反。

第三方面，本发明实施例还提供了一种脉冲交流放电装置，该脉冲交流放电装置包括如本发明任意实施例所述的脉冲交流放电电路。

本发明实施例通过设置第一放电极组和第二放电极组间隔排布，高压放电模块设置第一放电电压输出端和第二放电电压输出端，第一放电极组与第一放电电压输出端电连接，第二放电极组与第二放电电压输出端电连接，第一放电电压输出端和第二放电电压输出端输出极性相反的电压。与现有技术相比，本发明实施例可以在脉冲交流放电电路的放电极组同时输出正离子和负离子，均衡靠近放电极组的空间内的正、负离子的数量，不仅能够降低消电距离较近时的平衡电压波动，而且能够在输出频率降低时，降低平衡电压波动，从而提升了脉冲交流放电装置的性能，有利于其在电子行业的应用。

附图说明