[发明专利]背电极、太阳能电池及其制备方法

权利要求书

1.一种太阳能电池背电极的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：

S11、在基板(1)上制备光刻胶层(2)，并在所述光刻胶层(2)上制备多条贯穿所述光刻胶层(2)厚度、且间隔布置的第一刻划区；

S12、在所述基板(1)和所述光刻胶层(2)的表面上制备绝缘层(3)；

S13、在所述绝缘层(3)上制备非金属层(4)；

S14、采用清洗工艺将所述光刻胶层(2)以及其上的所述绝缘层(3)和所述非金属层(4)除去；

S15、在所述基板(1)和所述非金属层(4)上制备背电极层(5)；

S16、采用清洗工艺将所述非金属层(4)以及所述非金属层(4)上的所述背电极层(5)除去，形成由所述第一刻划区内的所述绝缘层(3)分隔开的多个背电极。

2.如权利要求1所述的太阳能电池背电极的制备方法，其特征在于：所述在光刻胶层(2)上制备多条贯穿所述光刻胶层(2)厚度、且间隔布置的第一刻划区步骤包括：

S111、在所述光刻胶层(2)上设置具有多条缝的掩膜板；

S112、采用曝光、显影的方式形成第一刻划区。

3.如权利要求1所述的太阳能电池背电极的制备方法，其特征在于：其特征在于：采用真空磁控溅射法、喷涂或者旋涂制备所述绝缘层(3)。

4.如权利要求1所述的太阳能电池背电极的制备方法，其特征在于：所述背电极层(5)的厚度与所述绝缘层(3)的厚度相同。

5.如权利要求4所述的太阳能电池背电极的制备方法，其特征在于：所述背电极层(5)和所述绝缘层(3)的厚度为300～500nm。

6.一种太阳能电池背电极，其特征在于，采用如权利要求1至5任一项所述太阳能电池背电极的制备方法制备而成。

7.一种太阳能电池的制备方法，其特征在于，

S21、采用如权利要求1至3任一项所述的方法制备太阳能背电极；

S22、在所述背电极上制备吸收层(6)；

S23、在所述吸收层(6)上制备硫化镉层(7)；

S24、在所述吸收层(6)和所述硫化镉层(7)上进行刻划形成第二刻划区，将所述第二刻划区所在区域的所述吸收层(6)和所述硫化镉层(7)除去，所述第二刻划区平行于所述第一刻划区；

S25、在所述硫化镉层(7)、所述绝缘层(3)和所述背电极层(5)上制备前电极层(8)；

S26、在所述吸收层(6)、所述硫化镉层(7)和所述前电极层(8)上进行刻划形成第三刻划区，将所述第三刻划区所在区域的所述吸收层(6)、所述硫化镉层(7)和所述前电极层(8)除去，所述第三刻划区平行于所述第一刻划区。

8.如权利要求7所述的太阳能电池背电极的制备方法，其特征在于：采用共蒸发法、溅射硒化法或者喷涂工艺来制备所述吸收层(6)。

9.如权利要求7所述的太阳能电池背电极的制备方法，其特征在于：采用激光或机械刻划加工所述第二刻划区和/或所述第三刻划区。

10.一种太阳能电池，其特征在于，采用如权利要求7至9任一项所述太阳能电池的制备方法制备而成。