[发明专利]用于形成可以成像为小散斑线的均匀照射线的系统有效
申请号: | 201910049286.5 | 申请日: | 2019-01-18 |
公开(公告)号: | CN110057318B | 公开(公告)日: | 2021-12-14 |
发明(设计)人: | A·帕雷特;J·F·菲尔哈贝尔;A·古德勒;L·贝朗格;R·齐默尔曼 | 申请(专利权)人: | 康耐视股份有限公司 |
主分类号: | G01B11/25 | 分类号: | G01B11/25 |
代理公司: | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人: | 刘锋 |
地址: | 美国马*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 形成 可以 成像 小散斑线 均匀 射线 系统 | ||
1.一种光学系统,其包括:
激光器,其经配置以发射准直激光束;以及
照射扇生成器,其包括扇形光束生成器和一或多个线性漫射器,所述一或多个线性漫射器具有漫射方向,其中所述一或多个线性漫射器在扫描路径的不同位置处的表面粗糙度具有随机差异,且其中所述照射扇生成器经布置且经配置以
接收所述准直激光束,
输出漫射光平面扇,使得所述漫射光平面扇从在所述一或多个线性漫射器中的最远侧线性漫射器上形成的光线发散,以及
使得在所述漫射光平面扇和物体相交处形成照射线;以及
图像采集装置,其安置成使得其光轴相对于所述漫射光平面扇形成锐角,且经配置以将所述照射线的图像形成为去散斑图像,
其中所述去散斑图像包括一系列图像的平均值,每一图像对应于在曝光时间间隔期间形成的每一照射线。
2.根据权利要求1所述的光学系统,
其中所述扇形光束生成器经布置且经配置以接收所述准直激光束并沿着所述漫射方向形成与所述线性漫射器相交的扇形光束,
其中所述线性漫射器透射对应于所述光线的光,以形成所述漫射光平面扇。
3.根据权利要求2所述的光学系统,其中所述扇形光束生成器包括线性漫射器。
4.根据权利要求2或3中任一项所述的光学系统,其中所述线性漫射器包括伪随机柱面阵列或全息光学元件中的一个。
5.根据权利要求2所述的光学系统,其中所述扇形光束生成器包括柱面透镜或鲍威尔透镜中的一个。
6.根据权利要求2所述的光学系统,其中
由所述扇形光束生成器形成的扇形光束的发散角大于目标发散角,且
所述扇形光束生成器和线性漫射器之间的间隔(d)大于预定间隔,以确保由所述扇形光束在所述线性漫射器上形成的所述光线的长度(LX)大于目标长度,所述预定间隔与所述目标发散角和所述目标长度成正比。
7.根据权利要求2所述的光学系统,其包括驱动器,所述驱动器经配置以使所述线性漫射器相对于所述扇形光束生成器进行循环运动,所述循环运动是沿着所述线性漫射器的漫射方向。
8.根据权利要求7所述的光学系统,其中
所述驱动器经配置以在所述循环运动的速度低于预定速度时停用所述激光器,且所述预定速度与所述曝光时间间隔成反比。
9.根据权利要求2或3所述的光学系统,其中所述图像采集装置经配置以将所述照射线的图像形成为均匀线。
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