[发明专利]用于生物传感器小孔形成的方法

权利要求书

1.一种生物芯片，所述生物芯片包含：

衬底；和

多个在所述衬底上形成的具有大于每平方毫米500个小孔的密度的离散位点，其中每一个离散位点包括：

配置在所述衬底上以形成小孔的侧壁；和

配置在所述小孔底部的电极。

2.根据权利要求1所述的生物芯片，其中形成所述小孔以使得所述小孔之间的串扰减小。

3.根据权利要求1所述的生物芯片，其中配置在所述小孔底部的电极从最接近所述电极的纳米孔或膜产生大部分的其信号。

4.根据权利要求1所述的生物芯片，其中将配置在所述小孔底部的电极组织成多组电极。

5.根据权利要求4所述的生物芯片，其中每一组电极共享共同的对电极。

6.根据权利要求1所述的生物芯片，其中配置在所述小孔底部的电极具有专用对电极。

7.根据权利要求1所述的生物芯片，其中使所述侧壁的表面硅烷化，以使得所述表面促进膜在所述小孔中或所述小孔附近的形成。

8.根据权利要求7所述的生物芯片，其中所述侧壁的表面是疏水性的，以使得所述表面促进疏水性膜在所述小孔中或所述小孔附近的形成。

9.根据权利要求7所述的生物芯片，其中促进膜在所述小孔中或所述小孔附近的形成包括：

促进所述膜至所述硅烷化表面的附着。

10.根据权利要求1所述的生物芯片，其中通过用一层有机官能烷氧基硅烷分子覆盖所述侧壁来使所述侧壁的表面硅烷化。

11.根据权利要求10所述的生物芯片，其中所述分子层的厚度为一个分子。