[发明专利]振动元件及其制造方法、物理量传感器、惯性计测装置

权利要求书

1.一种振动元件，其具有：

相互垂直的三个轴，所述三个轴分别被定义为X轴、Y轴和Z轴；

基部，所述基部位于沿着所述X轴和所述Y轴延伸的平面上；

振动臂，所述振动臂从所述基部起沿着所述Y轴延伸，具有施重部，该施重部具有沿着所述Z轴处于正反关系的第1主面和第2主面；

臂部，所述臂部沿着所述Y轴定位在所述施重部和所述基部之间，穿过所述臂部的沿着Z轴的Z方向上的中心并且与包括所述X轴和所述Y轴的X-Y平面平行的平面被定义为中心面；以及

施重膜，所述施重膜配置在所述施重部的所述第2主面上，

该振动元件的特征在于，

所述施重部的重心沿着所述Z轴位于所述第1主面与所述中心面之间，

所述施重膜的重心沿着所述Z轴位于所述第2主面与所述中心面之间。

2.根据权利要求1所述的振动元件，其中，

所述施重部具有第1部分、以及厚度比所述第1部分薄的第2部分，

所述第2主面利用所述第1部分和所述第2部分而具有阶梯形状。

3.根据权利要求2所述的振动元件，其中，

在从所述施重部的Z轴进行平面观察时，所述施重部在所述第1部分与所述第2部分之间具有厚度逐渐减小的部分。

4.根据权利要求2所述的振动元件，其中，

在从所述Z轴进行平面观察时，所述施重部的宽度大于所述臂部的宽度。

5.根据权利要求2所述的振动元件，其中，

所述第2部分相对于所述第1部分配置在所述振动臂的宽度方向上的两侧。

6.根据权利要求2所述的振动元件，其中，

所述第2部分相对于所述第1部分配置于与所述基部相反的一侧。

7.根据权利要求2所述的振动元件，其中，

在从所述施重部的Z轴进行平面观察时，所述第1部分被设置成包围所述第2部分。

8.根据权利要求2所述的振动元件，其中，

所述第1主面是平坦面。

9.根据权利要求2所述的振动元件，其中，

所述施重膜配置在所述第1部分上和所述第2部分上。

10.根据权利要求1所述的振动元件，其中，

所述臂部具有关于所述臂部的Z轴方向的所述中心面为面对称的形状。

11.根据权利要求1所述的振动元件，其中，该振动元件还具有：

第2振动臂，其从所述基部起延伸，具有第2施重部和位于所述第2施重部与所述基部之间的第2臂部；以及

第2施重膜，其配置在所述第2施重部上，

所述第2施重部具有沿着所述Z轴处于正反关系的第3主面和第4主面，穿过所述第2臂部的沿着所述Z轴的Z方向上的中心并且与包括所述X轴和所述Y轴的X-Y平面平行的平面被定义为另一中心面，

所述第2施重部的重心沿着所述Z轴位于所述第3主面与所述另一中心面之间，

所述第2施重膜的重心沿着所述Z轴位于所述第4主面与所述另一中心面之间。

12.根据权利要求1所述的振动元件，其中，该振动元件具有：

驱动臂，所述驱动臂进行驱动振动；以及

检测臂，所述检测臂与惯性力对应地发生变形，

所述基部具有基部主体、以及从所述基部主体起延伸的连结部，

所述驱动臂是所述振动臂，从所述连结部起延伸，

所述检测臂从所述基部主体起延伸。

13.根据权利要求1所述的振动元件，其中，该振动元件具有：

驱动臂，所述驱动臂从所述基部起延伸，进行驱动振动；以及

检测臂，所述检测臂从所述基部起在与所述驱动臂相反的方向上延伸，与惯性力对应地发生变形，

所述驱动臂是所述振动臂。