[发明专利]放电灯及其更换方法、点亮方法及制造方法

权利要求书

1.一种更换方法，用于更换放电灯，该放电灯具有：将包含沿规定方向相对设置的阳极及阴极的发光部覆盖的玻璃部件；和关于所述规定方向设在所述玻璃部件的一侧的第1灯座部件及设在另一侧的第2灯座部件，且该放电灯安装在曝光装置内的支承部件上，所述更换方法包括：

使与所述放电灯的所述第1灯座部件的被连结部连结且将来自所述曝光装置的电力向所述发光部传递的导电部件从所述被连结部脱离；

使所述放电灯的所述第2灯座部件从所述支承部件能够脱离；

保持所述放电灯的所述第1灯座部件的被保持部并将所述放电灯从所述支承部件向保管部搬送；

保持处于所述保管部的未使用的放电灯的所述第1灯座部件的所述被保持部，将该未使用的放电灯搬送到该未使用的放电灯的所述第2灯座部件能够由所述支承部件支承的位置；

通过所述支承部件支承所述未使用的放电灯的所述第2灯座部件；和

使连结有传递所述电力的部件的所述导电部件与所述未使用的放电灯的所述第1灯座部件的被连结部接触，

在所述导电部件的接触中，使所述被连结部的一侧与所述导电部件接触，将所述被连结部的另一侧推压到所述导电部件。

2.一种放电灯的点亮方法，用于点亮放电灯，该放电灯具有：将包含沿规定方向相对设置的阳极及阴极的发光部覆盖的玻璃部件；和关于所述规定方向设在所述玻璃部件的一侧的第1灯座部件及设在另一侧的第2灯座部件，且该放电灯安装在曝光装置内的支承部件上，所述放电灯的点亮方法包括：

将所述第1灯座部件被保持的所述放电灯从保管部向所述支承部件搬送；

使传递电力的导电部件与所述放电灯的所述第1灯座部件的被连结部连结；

通过能够供给电力的所述支承部件来支承所述放电灯的所述第2灯座部件；和

经由传递所述电力的部件及所述支承部件向所述放电灯供给电力来点亮所述放电灯，

在所述连结中，在所述被连结部的一侧与所述导电部件接触的状态下，将所述被连结部的另一侧推压到所述导电部件。

3.如权利要求2所述的放电灯的点亮方法，其中，

在所述搬送中，搬送部保持关于所述规定方向与所述被连结部相比设于所述玻璃部件侧的被保持部，来搬送所述放电灯。

4.一种放电灯，具有：将包括沿规定方向相对设置的第1电极及第2电极的发光部覆盖的玻璃部件；和相对于所述发光部而分别设在所述玻璃部件的所述第1电极侧及所述第2电极侧的第1灯座部件及第2灯座部件，且该放电灯安装在曝光装置内的支承部件上，所述放电灯的特征在于，

所述第1灯座部件具有：

被连结部，其供将来自所述曝光装置的电力向所述发光部传递的导电部件连结；和

被保持部，其能够由搬送部保持，

所述被连结部在所述被连结部的一侧与所述导电部件接触的状态下，被从所述被连结部的另一侧推压到所述导电部件，从而与所述导电部件连结。

5.如权利要求4所述的放电灯，其中，

所述第1灯座部件的所述被连结部包含以交叉方式配置的两个平面部。

6.如权利要求4所述的放电灯，其中，

所述第1灯座部件的所述被连结部包含大致轴对称的面。

7.如权利要求4至6中任一项所述的放电灯，其中，

在所述第1灯座部件的所述被保持部上形成有能够供搬送部的突部卡合的孔部。

8.如权利要求4至6中任一项所述的放电灯，其中，

所述第1灯座部件的所述被保持部具有能够由搬送部保持的、表面为球面状的轴对称部。

9.如权利要求4至6中任一项所述的放电灯，其中，

在所述第1灯座部件中的所述玻璃部件与所述被连结部及所述被保持部之间设有散热片。

10.如权利要求3至6中任一项所述的放电灯，其中，

所述第2灯座部件具有能够载置于支承部件的凸缘部、截面积比该凸缘部小的小径部、和截面积比该小径部大的层差部。