[发明专利]一种基板镀膜设备有效
申请号: | 201910052854.7 | 申请日: | 2019-01-21 |
公开(公告)号: | CN109735813B | 公开(公告)日: | 2021-02-02 |
发明(设计)人: | 谭伟 | 申请(专利权)人: | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 |
主分类号: | C23C14/35 | 分类号: | C23C14/35;C23C14/04;C23C14/50 |
代理公司: | 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 | 代理人: | 黄威 |
地址: | 518132 广东省深*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 镀膜 设备 | ||
1.一种基板镀膜设备,其特征在于,包括
腔体,其设有一导轨;
运载基板,可移动的设在所述导轨上,用以运载一基板;
吸热板,可分离的设于所述运载基板上,所述吸热板具有一朝向所述运载基板的装载侧,用以装载基板并吸取所述基板的热量;
至少一散热系统,设于所述腔体中,用以对所述吸热板散热;当所述散热系统对所述吸热板散热时,所述吸热板与所述基板分离,且贴覆于所述散热系统;
在所述吸热板吸热过程中,将所述吸热板装在基板小车上,所述吸热板随所述基板在所述基板镀膜腔体中一起成膜,在成膜过程中吸收所述基板上的热量;
当所述吸热板成膜过程中吸收所述基板上的热量后,所述吸热板与所述基板分离,且贴覆于所述散热系统,所述散热系统对所述吸热板散热。
2.根据权利要求1所述的基板镀膜设备,其特征在于,
每一散热系统包括:
散热板,设于所述腔体内,且位于所述腔体的上侧;
流体管道,设于所述散热板的上表面,所述流体管道具有一进水端和一出水端;
一进水口和一出水口,设于所述腔体的顶面,且所述流体管道的进水端连接于所述进水口,所述流体管道的出水端连接于所述出水口;
上下移动支架,设于所述腔体中且位于所述散热板的正下方,用以带动所述吸热板上下移动。
3.根据权利要求2所述的基板镀膜设备,其特征在于,
所述流体管道包括横向管道和纵向管道,所述横向管道和纵向管道相互连通,成“回”字形排布,或成“S”形排布,或成“Z”形排布。
4.根据权利要求2所述的基板镀膜设备,其特征在于,还包括一掩膜板,设于所述运载基板上,所述掩膜板位于所述基板的下方;所述上下移动支架包括:
若干第一支撑杆,竖直设置
若干第二支撑杆,竖直设置;
所述第一支撑杆的长度小于所述第一支撑杆的长度;
所述第一支撑杆对应于所述基板,所述第二支撑杆对应于所述吸热板;
当所述散热系统对所述吸热板散热时,所述上下移动支架向上运动,所述基板被所述第一支撑杆顶起且与所述掩膜板分离,所述吸热板被所述第二支撑杆顶起且与所述基板分离,所述吸热板被所述第二支撑杆顶起上升并且贴覆于所述散热板的底面。
5.根据权利要求4所述的基板镀膜设备,其特征在于,所述吸热板为倒置的台阶形结构,包括
第一板体,包括中部区域和围绕所述中部区域的周侧区域;
第二板体,连接所述第一板体的下方且对应于所述第一板体的中部区;
吸热涂层,设于所述第二板体朝向所述基板的一侧。
6.根据权利要求4所述的基板镀膜设备,其特征在于
所述运载基板设有容所述第二支撑杆通过的通孔。
7.根据权利要求4所述的基板镀膜设备,其特征在于,所述运载基板设有支撑柱,所述吸热板设于所述支撑柱上。
8.根据权利要求1所述的基板镀膜设备,其特征在于,所述腔体包括
基板镀膜腔体,具有一进口侧和一出口侧;
基板装载腔体,连接于所述基板镀膜腔体的进口侧;
基板卸载腔体,连接于所述基板镀膜腔体的出口侧;
所述散热系统设于所述基板镀膜腔体和或所述基板卸载腔体中。
9.根据权利要求1所述的基板镀膜设备,其特征在于,所述基板为金属基板,所述吸热板中具有用以吸附所述金属基板的磁性材料。
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