[发明专利]一种铣刀纳米涂层及其制备方法有效
申请号: | 201910053806.X | 申请日: | 2019-01-21 |
公开(公告)号: | CN109735806B | 公开(公告)日: | 2021-08-03 |
发明(设计)人: | 张建坡 | 申请(专利权)人: | 超微中程纳米科技(苏州)有限公司 |
主分类号: | C23C14/16 | 分类号: | C23C14/16;C23C14/02;C23C14/04;C23C14/06;C23C14/32 |
代理公司: | 苏州市中南伟业知识产权代理事务所(普通合伙) 32257 | 代理人: | 杨慧林 |
地址: | 215000 江苏省苏州市工业园*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 铣刀 纳米 涂层 及其 制备 方法 | ||
1.一种铣刀纳米涂层,所述铣刀包括刀柄和刀刃,其特征在于,所述刀刃外侧从内到外依次制备有基层、过渡层、功能层,所述刀柄外侧从内到外依次制备有基层、过渡层、功能层、强化层,所述基层为Cr材料涂层,所述过渡层为TiN材料涂层,所述功能层为TiAlSi材料涂层,所述强化层为TiWB材料涂层,所述功能层TiAlSi的成分占比为Ti:55%~65%,Al:30%~40%,Si:5%~15%,所述强化层TiWB的成分占比为Ti:40%~50%,W:25%~35%,B:15%~35%,在不影响刀刃的功能层的情况下,在刀柄外涂覆TiWB强化层,进一步增加刀柄的膜层硬度和膜层耐温性,增加强化层来保护刀刃后,Al的含量可以降低至30%以上就能保证铣刀的硬度,Si的含量降低至5%以上就能保证铣刀的耐温性。
2.一种铣刀纳米涂层的制备方法,其特征在于,依次包括以下步骤:(1)对铣刀表面进行预处理;(2)对预处理后的铣刀进行离子清洗;(3)离子清洗后分别用Cr靶、Ti靶、TiAlSi复合靶在铣刀外依次制备Cr基层、TiN过渡层、TiAlSi功能层;(4)在铣刀的刀刃外侧依次缠绕聚乙烯薄膜和无纺布,将铣刀的刀刃进行包覆;(5)包覆后的铣刀用TiWB复合靶进行轰击制备刀柄上的强化层;(6)最后将缠绕的聚乙烯薄膜和无纺布层除去,制备刀柄和刀刃不同的涂层。
3.如权利要求2所述的铣刀纳米涂层的制备方法,其特征在于,步骤(1)中预处理先对铣刀表面进行去毛刺处理,之后在自动湿喷沙机内进行湿喷沙处理,最后对铣刀进行超声波清洗并且烘干,在自动湿喷沙机内进行湿喷沙处理,其中湿喷沙机具有两组喷枪,其中一组喷枪喷纯水,另外一组喷枪喷玻璃沙。
4.如权利要求2所述的铣刀纳米涂层的制备方法,其特征在于,步骤(2)中离子清洗是将预处理后的铣刀放置在真空罐中,经抽气、烘烤后向真空罐充入Ar气,的制备方法通过电子枪装置进行弧光放电,保持放电电流80-120A,同时在工件表面加载负偏压600-850V,开始离子清洗,时间30分钟。
5.如权利要求2所述的铣刀纳米涂层的制备方法,其特征在于,步骤(3)中先制备Cr基层,用电子枪装置进行弧光放电,同时在工件表面加载负偏压60V,然后开启Cr靶,Cr靶电流60~100A,在铣刀表面Cr基层,保持加载负偏压不变,之后向真空罩内通入氮气,开启Ti靶,Ti靶电流60~100A,沉积梯度TiN过渡层,最后,在其他条件不变的情况下,关闭氮气,开启TiAlSi复合靶,TiAlSi复合靶的电流为100~120A,沉积TiAlSi功能层。
6.如权利要求2所述的铣刀纳米涂层的制备方法,其特征在于,步骤(5)中,对包覆后的铣刀也要先进行离子清洗,离子清洗后,用电子枪装置进行弧光放电,同时在工件表面加载负偏压60V,然后开启TiWB靶,TiWB靶电流60~100A,所述放电时间为10min~30min,在铣刀的刀柄上制备TiWB强化层。
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