[发明专利]靶材的清洗方法在审
| 申请号： | 201910054213.5 | 申请日： | 2019-01-21 |
| 公开（公告）号： | CN111451190A | 公开（公告）日： | 2020-07-28 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;王学泽;魏小林 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/02 | 分类号： | B08B3/02;B08B5/02;B08B13/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 吴敏 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 清洗 方法 | ||
1.一种靶材的清洗方法，其特征在于，包括以下步骤：
提供靶材；
对所述靶材进行喷洒清洗。
2.如权利要求1所述的靶材的清洗方法，其特征在于，所述喷洒清洗采用的清洗剂为挥发性液体。
3.如权利要求2所述的靶材的清洗方法，其特征在于，所述挥发性液体是酒精或二甲苯熔液。
4.如权利要求3所述的靶材的清洗方法，其特征在于，所述酒精的浓度为80％以上。
5.如权利要求1所述的靶材的清洗方法，其特征在于，所述喷洒清洗采用的清洗装置包括至少一个喷嘴。
6.如权利要求5所述的靶材的清洗方法，其特征在于，所述清洗装置包括一个喷嘴，所述喷嘴内通入清洗剂，并对所述清洗剂进行雾化。
7.如权利要求6所述的靶材的清洗方法，其特征在于，所述喷嘴喷出的清洗剂喷雾的压强为1.0MPa～1.4MPa。
8.如权利要求5所述的靶材的清洗方法，其特征在于，所述清洗装置包括两个喷嘴，一个所述喷嘴内通入清洗剂，并对所述清洗剂进行雾化；同时，另一个所述喷嘴内通入气体。
9.如权利要求8所述的靶材的清洗方法，其特征在于，所述气体为空气，压强为1.4MPa～1.6MPa。
10.如权利要求1所述的靶材的清洗方法，其特征在于，所述靶材的转动速度为750r/min～850r/min。
11.如权利要求1所述的靶材的清洗方法，其特征在于，所述喷洒清洗采用的清洗装置的移动速度为0.05mm/r～0.15mm/r。
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