[发明专利]真空蒸镀装置和真空蒸镀方法

说明书

本发明实施例公开了一种真空蒸镀装置和真空蒸镀方法，该真空蒸镀装置包括：用于吸附金属掩模板的磁板，磁板包括中心磁板单元和位于中心磁板单元外周的至少一个周边磁板单元，其中，中心磁板单元和周边磁板单元相对于金属掩模板分别独立地可移动设置。本发明的技术方案利用分别独立地可移动设置的中心磁板单元和周边磁板单元先后吸附金属掩模板，可保证金属掩模板的平整性，从而有利于提高蒸镀良率。

技术领域

本发明实施例涉及显示面板的制备技术领域，尤其涉及一种真空蒸镀装置和真空蒸镀方法。

背景技术

有机发光二极管(Organic Light-Emitting Diode,OLED)显示装置由于其自发光、结构简单、易实现轻薄化设计、响应速度快、视角宽、功耗低等特点，成为平板显示技术的主要产品方向之一。有机发光二极管的生产制程中，通常采用掩模蒸镀的方法在衬底基板上形成有机发光功能层(包括阴极、阳极、电子传输层、电子阻挡层、空穴传输层、空穴阻挡层、有机发光层，或者其他功能膜层)。为使衬底基板与金属掩模板之间贴合良好，通常在衬底基板远离金属掩模板的一侧设置磁板。当磁板靠近金属掩模板时，通过磁铁吸附的作用，金属掩模板托举衬底基板，从而保证金属掩模板与衬底基板之间贴合良好。

然而，现有的真空蒸镀装置在使用的过程中，磁板对金属掩模板吸附效果不好，容易导致蒸镀良率降低。

发明内容

本发明实施例提供一种真空蒸镀装置和真空蒸镀方法，有利于优化磁板与金属掩模板的吸附效果，从而提高蒸镀良率。

第一方面，本发明实施例提供了一种真空蒸镀装置，该真空蒸镀装置与金属掩模板配合使用，该真空蒸镀装置包括：

用于吸附所述金属掩模板的磁板，磁板包括中心磁板单元和位于中心磁板单元外周的至少一个周边磁板单元，其中，中心磁板单元和周边磁板单元相对于金属掩模板分别独立地可移动设置。

进一步地，至少一个周边磁板单元包括多个相对于金属掩模板分别独立地可移动设置的周边磁板单元。

进一步地，至少一个周边磁板单元包括平行设置在所述中心磁板单元两侧的至少两个周边磁板单元；中心磁板单元的延伸方向与金属掩模板中的掩模主体的长边方向垂直；优选地，位于中心磁板单元两侧的周边磁板单元对称设置。

进一步地，至少一个周边磁板单元包围环绕中心磁板单元；优选地，中心磁板单元的形状为圆形或矩形，至少一个周边磁板单元的形状为与中心磁板单元的形状对应的圆形环或矩形环；优选地，至少一个周边磁板单元包括由中心磁板单元向外依次排布的多个周边磁板单元。

进一步地，磁板包括安装基板以及设置在安装基板上的若干个磁条。

进一步地，磁板上设置有多组沿同一方向排布的磁条组，每组磁条组中包括多个磁条；

其中，相邻两组磁条组中的磁条的远离安装基板的一端极性不同，且位于同一所述磁条组中的相邻两个磁条的极性相同或不同。

进一步地，位于相邻两个磁条组中的各所述磁条交错排布。

进一步地，磁条为永磁铁。

第二方面，本发明实施例还提供了一种真空蒸镀方法，该真空蒸镀方法包括：

提供金属掩模板及位于金属掩模板上的待蒸镀基板，形成待蒸镀组件；

将待蒸镀组件置于真空蒸镀装置中，真空蒸镀装置中包括磁板，磁板包括中心磁板单元和位于中心磁板单元外周的至少一个周边磁板单元；

驱动磁板的中心磁板单元先于周边磁板单元与待蒸镀组件贴合。

进一步地，该蒸镀方法还包括：预先调整磁板的结构，使得中心磁板单元和至少一个周边磁板单元面向待蒸镀组件的一侧形成高度差，形成初始状态；