[发明专利]玻璃、玻璃的制造方法、导电糊剂和太阳能电池在审
申请号: | 201910057596.1 | 申请日: | 2019-01-22 |
公开(公告)号: | CN110066108A | 公开(公告)日: | 2019-07-30 |
发明(设计)人: | 中北要佑;马尔丸·达姆林;铃木绍太;辻孝辅;中原正博;森下直哉 | 申请(专利权)人: | AGC株式会社;东洋铝株式会社 |
主分类号: | C03C3/064 | 分类号: | C03C3/064;C03C3/066;C03C3/072;C03C3/108;H01L31/0224;H01B1/22 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 李书慧;赵青 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 玻璃 导电糊剂 太阳能电池 电极 半导体基板 绝缘膜 生产效率 低成本 导电性金属粉末 贯通 制造 有机媒介物 电极形成 | ||
本发明提供玻璃及玻璃的制造方法、导电糊剂和太阳能电池,该玻璃是电极形成中使用的玻璃,在太阳能电池等的半导体基板上介由绝缘膜形成电极时,能够以低成本、高生产效率地形成贯通绝缘膜而能充分确保与半导体基板接触的电极;该导电糊剂含有该玻璃的粉末,在形成电极时能够以低成本、高生产效率地形成贯通绝缘膜而确保与半导体基板接触的电极,该太阳能电池通过使用该导电糊剂而提高了可靠性和生产率。本发明提供下述的玻璃、玻璃的制造方法、导电糊剂和太阳能电池,其中,该玻璃的特征在于以摩尔%表示,含有5~60%的PbO、20~50%的B2O3、5~30%的SiO2、3~20%的K2O、3~20%的CaO;该导电糊剂含有玻璃的粉末、导电性金属粉末和有机媒介物;该太阳能电池的特征在于具备使用该导电糊剂形成的电极。
技术领域
本发明涉及玻璃、玻璃的制造方法、导电糊剂和太阳能电池,特别是涉及适合用于形成太阳能电池的电极的玻璃、玻璃的制造方法、使用该玻璃的导电糊剂、以及具有由该导电糊剂形成的电极的太阳能电池。
背景技术
以往,在硅(Si)等半导体基板上形成有成为电极的导电层的电子设备被用于各种用途。该成为电极的导电层一般是通过将在有机媒介物中分散有铝(Al)、银(Ag)、铜(Cu)等导电性金属粉末和玻璃粉末的导电糊剂涂布在半导体基板上,并以导电性金属粉末的熔点以上的温度煅烧而形成的。
如此在半导体基板上形成电极时,有时以在半导体基板的要形成电极的面的整体上形成绝缘膜、图案状的电极部分贯通绝缘膜与半导体基板接触的方式形成。例如,在太阳能电池中,在成为受光面的半导体基板上设置防反射膜,电极以图案状设置在其上。防反射膜是为了在确保充分的可见光透射率的同时减少表面反射率从而提高受光效率的膜,通常由氮化硅、二氧化钛、二氧化硅、氧化铝等绝缘材料构成。另外,在PERC(PassivatedEmitter and Rear Contact)等太阳能电池中,以在背面整体也设置由与防反射膜同样的绝缘材料构成的钝化膜、在该钝化膜上电极的一部分与半导体基板接触的方式形成。
此处,在上述电极的形成中以与半导体基板接触的方式形成电极是必须的,在受光面,绝缘膜的与电极的图案对应的部分被除去,在除去了绝缘膜的部分形成电极。另外,在PERC太阳能电池等的背面,在可进行电接触的范围除去部分的绝缘膜,在背面整体形成电极。
作为除去部分绝缘层的方法,也有通过激光等进行物理除去的方法,但由于制造工序增加,导入装置耗费成本,所以近年来,采用在形成电极时使用含有玻璃粉末的导电糊剂(糊状的电极材料),通过烧穿(Fire-through)使该导电糊剂贯通绝缘膜的方法。在该方法中,例如,在半导体基板上整面设置绝缘膜后,在该绝缘膜上以适当的形状涂布导电糊剂,实施煅烧处理。由此,在电极材料被加热熔融的同时,与其接触的绝缘膜与玻璃反应而熔融,电极以贯通绝缘膜与半导体基板接触的方式形成。在PERC太阳能电池等的背面电极中,通过组合使用贯通绝缘膜的导电糊剂和不贯通绝缘膜的导电糊剂,可得到形成于背面整体且部分贯通绝缘膜与半导体基板接触的电极。
作为这样的通过烧穿而贯通绝缘膜的含有玻璃粉末的导电糊剂,例如,在专利文献1中可举出太阳能电池电极用糊剂。在专利文献1中,作为构成上述玻璃粉末的玻璃,使用了以氧化物换算计,以特定的比例分别含有Te、Bi、Li、Zn作为必需的主成分且任意含有5摩尔%以下的Mg、Ti、V、Cr、Mn、Fe、Co、Ni、Cu、W的无铅玻璃。
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