[发明专利]一种无基底大面积太赫兹偏振片加工方法有效

专利信息
申请号: 201910057813.7 申请日: 2019-01-22
公开(公告)号: CN109590615B 公开(公告)日: 2020-11-24
发明(设计)人: 王向峰;高焘;王杰;陈星晨 申请(专利权)人: 福州大学
主分类号: B23K26/36 分类号: B23K26/36;B23K26/60
代理公司: 福州元创专利商标代理有限公司 35100 代理人: 蔡学俊
地址: 350108 福建省福州市闽*** 国省代码: 福建;35
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摘要:
搜索关键词: 一种 基底 大面积 赫兹 偏振 加工 方法
【权利要求书】:

1.一种无基底大面积太赫兹偏振片加工方法,其特征在于:所述的加工方法包括以下步骤:

步骤S1:将表面加有低粘度液体的铝箔贴附在特氟龙基底表面,消除重力和空气流动影响,使得铝箔加工时表面平整;

步骤S2:使用飞秒激光加工系统在铝箔表面切出周期性的缝槽结构,金属线与金属线之间保留非周期性短线连接;

步骤S3:去掉特氟龙基底,从而得到太赫兹偏振片;

所述铝箔厚度为10μm;

所述低粘度液体为低粘度易溶于水的溶剂;

激光切缝周期为20μm,线栅的金属线宽为12μm,金属线与金属线之间非周期性短线连接,保证线栅周期稳定,并起支撑作用;

在步骤S3中,先将样品框粘在加工后的铝箔上表面,然后将特氟龙基底、铝箔、样品框一起放入溶剂中进行水浴浸泡20分钟,去掉特氟龙基底,得到无基底的太赫兹偏振片。

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