[发明专利]一种挑起不同尺寸晶片的顶针模组有效
申请号: | 201910058117.8 | 申请日: | 2019-01-22 |
公开(公告)号: | CN109935545B | 公开(公告)日: | 2022-03-18 |
发明(设计)人: | 闻美玲;蔡文必;吴文彬;刘水旺 | 申请(专利权)人: | 厦门市三安集成电路有限公司 |
主分类号: | H01L21/687 | 分类号: | H01L21/687 |
代理公司: | 厦门市首创君合专利事务所有限公司 35204 | 代理人: | 李雁翔;张迪 |
地址: | 361000 福建省厦门*** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 挑起 不同 尺寸 晶片 顶针 模组 | ||
本发明提供了一种挑起不同尺寸晶片的顶针模组,包括:图像获取模块、晶片面积识别模块、顶针数量计算模块、与晶片形状对应布置的多个顶针以及驱动顶针沿着水平方向和竖直方向运动的第一运动模组和第二运动模组;第一运动模组推动顶针沿着水平方向移动,使其位于目标晶片的中心位置;图像获取模块用于获取目标晶片的图像,晶片面积识别模块通过对图像的边缘进行识别和计算以得到目标晶片的尺寸数据,顶针数量计算模块通过目标晶片的尺寸数据得出挑起目标晶片所需的顶针数量和顶针位置,第二运动模组推动相应数量和相应位置的顶针伸出,顶针与目标晶片顶抵将目标晶片挑起。上述顶针模组,能够兼容不同尺寸的晶片使用,无需频繁更换顶针头。
技术领域
本发明涉及半导体,尤其涉及半导体晶片。
背景技术
在晶片生产过程中,需要将一个个晶片挑起。因此需要使用专门用于挑起晶片的机器。这个机器具有顶针头,通过顶针头的运动将晶片顶起。由于晶片的尺寸各不相同,因此顶针头也有多种规格,根据不同的晶片更换不同的顶针头。目前对于尺寸在0-4000mm的晶片上共有五种顶针头,这样在生产过程中就需要频繁更换顶针头,一旦忘记更换或者更换的顶针头尺寸不对,就很容易造成晶片破裂。而针对长宽比例大于1:3或者晶片尺寸不在0-4000mm需专门找供应商定制顶针治具。
发明内容
本发明所要解决的主要技术问题是提供一种挑起不同尺寸晶片的顶针模组,能够兼容不同尺寸的晶片使用,无需频繁更换顶针头。
为了解决上述的技术问题,本发明提供了一种挑起不同尺寸晶片的顶针模组,包括:图像获取模块、晶片面积识别模块、顶针数量计算模块、与晶片形状对应布置的多个顶针以及驱动所述顶针沿着水平方向和竖直方向运动的第一运动模组和第二运动模组;
所述第一运动模组推动顶针沿着水平方向移动,使其位于目标晶片的中心位置;所述图像获取模块用于获取目标晶片的图像,晶片面积识别模块通过对所述图像的边缘进行识别和计算以得到目标晶片的尺寸数据,顶针数量计算模块通过目标晶片的尺寸数据得出挑起目标晶片所需的顶针数量和顶针位置,所述第二运动模组推动相应数量和相应位置的顶针伸出,顶针与目标晶片顶抵将目标晶片挑起。
在一较佳实施例中:所述挑起目标晶片所需的顶针数量和顶针位置是指均匀在对应目标晶片施加抬升力所需的顶针数量和顶针位置。
在一较佳实施例中:每一个所述顶针分别置于一气路通道中;当所述气路通道为真空状态时,顶针整体位于气路通道内,当所述气路通道中通入气体时,顶针被推出所述气路通道外。
相较于现有技术,本发明的技术方案具备以下有益效果:
本发明提供的一种挑起不同尺寸晶片的顶针模组,顶针模组具有多个顶针,通过识别并计算目标晶片的面积,从而驱动多个顶针中的一部分伸出,伸出的顶针所包围的面积与目标晶片的面积对应,因此,对于不同面积的晶片,只要改变伸出的顶针即可,无需更换顶针头。这样就可以实现针对多种大小的晶片同时挑选,无需频繁更换顶针头。从而大大提升了挑晶片的速度,提升挑晶片的效率。
具体实施方式
下文通过具体实施例对本发明做进一步说明。
一种挑起不同尺寸晶片的顶针模组,包括:图像获取模块、晶片面积识别模块、顶针数量计算模块、与晶片形状对应布置的多个顶针以及驱动所述顶针沿着水平方向和竖直方向运动的第一运动模组和第二运动模组;
所述第一运动模组推动顶针沿着水平方向移动,使其位于目标晶片的中心位置;所述图像获取模块用于获取目标晶片的图像,晶片面积识别模块通过对所述图像的边缘进行识别和计算以得到目标晶片的尺寸数据,顶针数量计算模块通过目标晶片的尺寸数据得出挑起目标晶片所需的顶针数量和顶针位置,所述第二运动模组推动相应数量和相应位置的顶针伸出,顶针与目标晶片顶抵将目标晶片挑起。
所述挑起目标晶片所需的顶针数量和顶针位置是指均匀在对应目标晶片施加抬升力所需的顶针数量和顶针位置。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造