[发明专利]一种分光装置有效

专利信息
申请号: 201910059059.0 申请日: 2019-01-22
公开(公告)号: CN111458893B 公开(公告)日: 2021-05-04
发明(设计)人: 徐建旭;兰艳平 申请(专利权)人: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
主分类号: G02B27/14 分类号: G02B27/14
代理公司: 北京品源专利代理有限公司 11332 代理人: 孟金喆
地址: 201203 上海市浦*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 一种 分光 装置
【权利要求书】:

1.一种分光装置,其特征在于,包括:

第一分光单元,所述第一分光单元包括第一反射面;

第二分光单元,所述第二分光单元包括第二反射面;

所述第一反射面和所述第二反射面垂直;

一束入射光线入射到所述第一反射面发生反射,形成第一反射光线,所述第一反射光线入射到所述第二反射面,形成第二反射光线;

所述入射光线与所述第一反射光线所在的平面为第一入射面,偏振方向平行于所述第一入射面的入射光线在所述第一反射面的反射率为第一反射率,偏振方向垂直于所述第一入射面的入射光线在所述第一反射面的反射率为第二反射率;

所述第一反射光线与所述第二反射光线所在的平面为第二入射面,偏振方向平行于所述第二入射面的第一反射光线在所述第二反射面的反射率为第三反射率,偏振方向垂直于所述第二入射面的第一反射光线在所述第二反射面的反射率为第四反射率;

所述第一反射率和所述第三反射率相同,所述第二反射率和所述第四反射率相同。

2.根据权利要求1所述的分光装置,其特征在于,所述第一反射面的表面和所述第二反射面的表面设置有光学膜层,所述光学膜层具有预设的透反比。

3.根据权利要求1所述的分光装置,其特征在于,所述第一分光单元和所述第二分光单元均为平板分光镜。

4.根据权利要求3所述的分光装置,其特征在于,所述第一分光单元和所述第二分光单元的形状和材料均相同。

5.根据权利要求1所述的分光装置,其特征在于,所述第一分光单元包括第一楔形分光镜,所述第二分光单元包括第二楔形分光镜;

所述第一楔形分光镜用于使一部分入射光反射,另一部分入射光透射,透射光的出射面为所述第一楔形分光镜的出光面。

6.根据权利要求5所述的分光装置,其特征在于,还包括第三分光单元,所述第三分光单元包括第三楔形分光镜,所述第三楔形分光镜包括第一入光面和第二入光面;

所述第三楔形分光镜的第一入光面与所述第一楔形分光镜的出光面平行,所述第三楔形分光镜的第二入光面与所述第一反射面平行。

7.根据权利要求6所述的分光装置,其特征在于,所述第一楔形分光镜与所述第三楔形分光镜的形状和材料相同。

8.根据权利要求6所述的分光装置,其特征在于,所述第一楔形分光镜与所述第三楔形分光镜之间的距离可调。

9.根据权利要求6所述的分光装置,其特征在于,还包括第一挡片,用于遮挡所述第一楔形分光镜的出光面反射并经所述第一反射面透射的光线、所述第三楔形分光镜的第一入光面的反射光线以及所述第三楔形分光镜的第二入光面反射并经所述第三楔形分光镜的第一入光面透射的光线。

10.根据权利要求6所述的分光装置,其特征在于,还包括位于所述第三楔形分光镜的第二入光面一侧,且与所述第三楔形分光镜共光轴排列的第四分光单元,所述第四分光单元包括第四楔形分光镜和第五楔形分光镜;

所述第三楔形分光镜与所述第四楔形分光镜关于垂直于光轴的平面镜像对称;

所述第一楔形分光镜与所述第五楔形分光镜关于垂直于光轴的平面镜像对称。

11.根据权利要求1所述的分光装置,其特征在于,所述入射光线入射到所述第一反射面的入射角为45°。

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