[发明专利]传感元件与弹性敏感元件加工一体化的传感器及其制备

权利要求书

1.一种传感元件与弹性敏感元件加工一体化的传感器，其特征在于：包括弹性敏感元件、传感元件和电阻采集系统，所述传感元件原位生成在所述弹性敏感元件的表面，所述传感元件的中的至少两部分作为电极分别与所述电阻采集系统电连接，其中，所述弹性敏感元件为三维结构，所述弹性敏感元件由可碳化高分子层组成，所述传感元件由所述可碳化高分子层中一部分被碳化后得到；所述弹性敏感元件的结构为柱状、膜片及膜盒、悬臂梁、弹簧管、波纹管或扭转棒；所述传感器用来测定拉伸力、压缩力、剪切力、弯曲力和扭转力中的一种或以上几种力的复合力。

2.根据权利要求1所述的传感元件与弹性敏感元件加工一体化的传感器，其特征在于：所述传感器为压阻式传感器。

3.根据权利要求1所述的传感元件与弹性敏感元件加工一体化的传感器，其特征在于：采用的碳化方式为激光碳化，激光碳化时所使用激光光源的波长为10nm-1mm，激光功率为200mW-10W。

4.一种权利要求1-3中任一项所述的传感元件与弹性敏感元件加工一体化的传感器的制备方法，其特征在于：包括以下步骤：

(1)提供一具有三维结构的弹性敏感元件，所述弹性敏感元件由可碳化高分子层组成；

(2)将所述可碳化高分子层的一部分进行碳化，以在所述弹性敏感元件的表面原位生成传感元件；

(3)将所述传感元件的至少两部分作为电极，分别与电阻采集系统进行电连接，装配和封装后得到所述传感元件与弹性敏感元件加工一体化的传感器。

5.权利要求1-3中任一项所述的传感元件与弹性敏感元件加工一体化的传感器在检测拉伸力、压缩力、剪切力、弯曲力、扭转力中的一种或几种的复合力中的应用。