[发明专利]石墨盘检测方法和装置

说明书

本发明公开了一种石墨盘检测方法和装置，属于外延技术领域。该方法包括：拍摄石墨盘的表面，得到所述石墨盘的表面图像；根据所述石墨盘的表面图像判断所述石墨盘的表面是否存在破损；当所述石墨盘的表面不存在破损时，根据所述石墨盘的表面图像判断所述石墨盘的表面是否存在色差；当所述石墨盘的表面不存在色差时，对所述石墨盘进行超声波扫描，得到所述石墨盘的反射率；根据所述石墨盘的反射率对所述石墨盘进行分类，同一外延生长设备采用同一类所述石墨盘进行外延生长。通过上述石墨盘检测过程，能够提高后续外延生长质量，提高发光二极管的良率。

技术领域

本发明涉及外延技术领域，特别涉及一种石墨盘检测方法和装置。

背景技术

石墨盘是金属有机化合物化学气相沉淀(Metal-organic Chemical VaporDeposition，MOCVD)设备中非常重要的配件，石墨盘由高纯石墨制成，并在表面镀有SiC涂层。

由于石墨盘单价较高，所以在LED外延片的正常量产过程中，石墨盘一般会循环使用。石墨盘作为衬底的载盘在单次使用完毕后，需要在烘烤(Bake)炉进行高温Bake，同时需通入N₂/H₂混合气，对石墨盘表面的GaN进行处理，保证石墨盘的表面SiC层没有GaN的残留，有利于外延片的正常生产。

但是在石墨盘经过高温Bake处理后，有可能出现石墨盘的表面依旧残留GaN的现象存在，也有可能随着使用的周期数增加石墨盘出现破孔，导致在这些问题石墨盘上生长出的大量的外延片性能异常。

发明内容

本发明实施例提供了一种石墨盘检测方法和装置，实现对石墨盘的检测，提高了外延片的良率。所述技术方案如下：

一方面，本发明实施例提供了一种石墨盘检测方法，所述方法包括：拍摄石墨盘的表面，得到所述石墨盘的表面图像；根据所述石墨盘的表面图像判断所述石墨盘的表面是否存在破损；当所述石墨盘的表面不存在破损时，根据所述石墨盘的表面图像判断所述石墨盘的表面是否存在色差；当所述石墨盘的表面不存在色差时，对所述石墨盘进行超声波扫描，得到所述石墨盘的反射率；根据所述石墨盘的反射率对所述石墨盘进行分类，同一外延生长设备采用同一类所述石墨盘进行外延生长。

在本发明的一种实现方式中，所述拍摄石墨盘的表面，得到所述石墨盘的表面图像，包括：将所述石墨盘的表面分为多个区域；依次拍摄所述石墨盘的表面的多个区域，得到多张所述石墨盘的表面图像。

在本发明的一种实现方式中，所述根据所述石墨盘的表面图像判断所述石墨盘的表面是否存在破损，包括：显示所述石墨盘的表面图像；接收人工操作指令，所述人工操作指令用于指示所述石墨盘的表面是否存在破损；或者，所述根据所述石墨盘的表面图像判断所述石墨盘的表面是否存在破损，包括：将所述石墨盘的表面图像输入预定的分类器，根据所述分类器的结果确定所述石墨盘的表面是否存在破损。

在本发明的一种实现方式中，所述根据所述石墨盘的表面图像判断所述石墨盘的表面是否存在色差，包括：将所述石墨盘的表面图像分为多个区域；计算每个区域的平均灰阶值；计算任意两个相邻区域的平均灰阶值的差值；当存在任意两个相邻区域的平均灰阶值的差值大于阈值时，确定所述石墨盘的表面存在色差。

在本发明的一种实现方式中，所述对所述石墨盘进行超声波扫描，得到所述石墨盘的反射率，包括：发射超声波；接收经过所述石墨盘反射回的超声波；根据发射的超声波的强度和反射回的超声波的强度，确定所述石墨盘的反射率。