[发明专利]一种透明薄膜厚度测量装置及方法

权利要求书

1.一种透明薄膜厚度测量装置，其特征在于，包括：平行光管、圆盘载物台、望远镜系统、CCD、上位机和待测样品；所述平行光管与所述望远镜系统关于所述圆盘载物台的圆心对称设置；所述望远镜系统正对所述CCD的接收面设置；所述CCD与上位机连接；所述待测样品放置在所述圆盘载物台的直径上，且垂直于所述圆盘载物台。

2.根据权利要求1所述的一种透明薄膜厚度测量装置，其特征在于，所述圆盘载物台的边缘均设置有刻度，所述刻度最小为分。

3.根据权利要求1所述的一种透明薄膜厚度测量装置，其特征在于，钠灯通过所述平行光管发射平行的钠黄光。

4.根据权利要求1所述的一种透明薄膜厚度测量装置，其特征在于，所述待测样品为镀膜样品，所述镀膜样品放置在所述圆盘载物台的中心处。

5.根据权利要求1所述的一种透明薄膜厚度测量装置，其特征在于，所述CCD放置在三维调整支架上。

6.根据权利要求1-5任一项所述的一种透明薄膜厚度测量装置的测量方法，其特征在于，具体步骤包括：

步骤一：调整载物台水平；

步骤二：望远镜系统自准直；

步骤三：调整平行光管，使平行光管的主轴和望远镜系统在一条线上；确定入射角的大小；

步骤四：在望远镜系统中观察清晰细锐的狭缝图像；

步骤五：利用三维调整架调整CCD接收面垂直于望远镜系统的入射光；在所述圆盘载物台上未放置待测样品时，调整望远镜系统的位置，固定好CCD，并记录此时狭缝像在CCD上的位置L₀；

步骤六：将镀膜样品摆放在圆盘载物台上，镀膜面朝向平行光管方向；微调望远镜系统的位置，在CCD上观察到细锐的狭缝的像，记录狭缝像的位置L；

步骤七：计算出L和L₀之间的距离LL₀；

步骤八：计算膜层厚度d₁或膜层折射率n₁。

7.根据权利要求6所述的一种透明薄膜厚度测量方法，其特征在于，所述步骤三中，放置镀膜样品和未放置镀膜样品在所述圆盘载物台上，所述入射角的大小相同，且所述入射角为30°。

8.根据权利要求6所述的一种透明薄膜厚度测量方法，其特征在于，所述步骤五和所述步骤六中，所述CCD的位置不变。

9.根据权利要求6所述的一种透明薄膜厚度测量方法，其特征在于，所述步骤七中，当L和L₀之间的距离LL₀较小时，顺时针转动圆盘载物台，新的入射角＝转动的角度+30°。