[发明专利]一种旋转真空轴组

权利要求书

1.一种旋转真空轴组，其特征在于，所述真空轴组包括：

转轴（1），所述转轴（1）为圆柱壳结构，所述转轴（1）的侧壁设置有贯穿孔（11），所述贯穿孔（11）与所述转轴（1）的内腔相连通，所述转轴（1）的底部与电机转子轴连接，使得所述转轴（1）能够绕自轴旋转；

中间层（2），所述中间层（2）套设在所述转轴（1）上，所述中间层（2）与所述转轴（1）之间的间隙距离为预定值，所述中间层（2）的两端固定有轴承（3），所处轴承（3）的内圈与所述转轴（1）紧配合，所述中间层（2）的内侧壁设置有凹入的环形腔（21），所述环形腔与所述贯穿孔（11）相连通，所述中间层（2）上开设有第一通孔（22），所述第一通孔（22）的一端与所述中间层（2）的外部空间连通，所述第一通孔（22）的另一端与所述环形腔（21）相连通；以及

外壳（4），所述外壳（4）套设在所述中间层（2）上，所述外壳（4）上设置有抽气孔（41），所述抽气孔（41）的一端与所述第一通孔（22）相连通，所述抽气孔（41）的另一端与外部的抽气装置连接。

2.根据权利要求1所述的旋转真空轴组，其特征在于，所述中间层（2）与所述外壳（4）之间夹设有密封装置，所述密封装置使得所述第一通孔（22）与所述抽气孔（41）的连通处与外部空间隔绝。

3.根据权利要求2所述的旋转真空轴组，其特征在于，所述中间层（2）的外壁上设置有两条平行的环形槽，所述第一通孔（22）夹设在两条所述环形槽之间，所述环形槽中容置有密封条（23）。

4.根据权利要求1所述的旋转真空轴组，其特征在于，所述外壳（4）上均匀设置有若干螺孔（42），用来将所述真空轴组固定在外部设备上。

5.根据权利要求1所述的旋转真空轴组，其特征在于，所述外壳（4）的两端设置有固定盘（5），所述固定盘（5）上设置有供所述转轴（1）穿过的第二通孔，所述固定盘（5）与所述外壳（4）之间螺纹连接。

6.根据权利要求1所述的旋转真空轴组，其特征在于，所述预定值小于0.02mm。

7.根据权利要求6所述的旋转真空轴组，其特征在于，所述预定值为0.005mm。

8.根据权利要求1所述的旋转真空轴组，其特征在于，所述轴承（3）为单列深沟球轴承，所述单列深沟球轴承包括密封圈。

9.根据权利要求1所述的旋转真空轴组，其特征在于，所述转轴（1）的表面做硬化处理。