[发明专利]OLED显示面板的制作设备及制作方法有效
申请号: | 201910060294.X | 申请日: | 2019-01-22 |
公开(公告)号: | CN109817827B | 公开(公告)日: | 2021-01-01 |
发明(设计)人: | 姜亮 | 申请(专利权)人: | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 |
主分类号: | H01L51/52 | 分类号: | H01L51/52;H01L51/56 |
代理公司: | 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 | 代理人: | 黄威 |
地址: | 518132 广东省深*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | oled 显示 面板 制作 设备 制作方法 | ||
1.一种OLED显示面板的制作设备,其特征在于,包括导热板以及用于对所述导热板进行加热的加热源;所述导热板包括板体和设置在所述板体上的凸点,所述凸点用于对OLED显示面板上的绝缘膜层进行加热蒸发以露出辅助电极;
其中,所述加热源设置于所述板体远离所述凸点的一侧,所述加热源为发出线性激光的激光加热源,所述激光加热源配设有驱动其水平移动的第一驱动件;所述板体远离所述加热源的一侧上涂覆有隔热层。
2.根据权利要求1所述的OLED显示面板的制作设备,其特征在于,所述OLED显示面板的制作设备还包括冷却板,所述冷却板用于对所述OLED显示面板和所述导热板进行降温。
3.根据权利要求2所述的OLED显示面板的制作设备,其特征在于,所述冷却板与所述导热板平行,并且,所述冷却板配设有驱动其上下移动的第二驱动件。
4.根据权利要求3所述的OLED显示面板的制作设备,其特征在于,所述OLED显示面板的制作设备还包括真空腔室,所述导热板、冷却板以及加热源均位于所述真空腔室中。
5.一种OLED显示面板的制作方法,其特征在于,包括以下步骤:
S10、提供一显示器件板;
S20、在所述显示器件板上形成辅助电极;
S30、在所述显示器件板上形成覆盖所述辅助电极的绝缘膜层;
S40、将显示器件板放置在带有凸点的导热板上,调整显示器件板的位置使所述导热板上的凸点位于预设位置处;
S50、利用加热源对导热板进行加热,通过所述凸点对绝缘膜层进行加热蒸发,以在绝缘膜层上形成与所述凸点对应的接触孔并使接触孔内的辅助电极露出;
S60、在所述绝缘膜层上形成填充所述接触孔且与所述辅助电极接触连接的顶电极;
S70、在顶电极上形成发光层和封装层。
6.根据权利要求5所述的OLED显示面板的制作方法,其特征在于,在所述步骤S50后,并且,所述步骤S60前,所述OLED显示面板的制作方法还包括:
S80、使用冷却板对所述显示器件板和所述导热板进行降温。
7.根据权利要求5所述的OLED显示面板的制作方法,其特征在于,所述加热源为发出线性激光的激光加热源,所述激光加热源配设有驱动其水平移动的第一驱动件。
8.根据权利要求5所述的OLED显示面板的制作方法,其特征在于,所述导热板包括板体和设置在板体上的凸点,所述加热源设置于所述板体远离所述凸点的一侧,所述板体远离所述加热源的一侧上涂覆有隔热层。
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