[发明专利]一种TFT面板机台的管道清洗剂及其清洗方法

说明书

本发明化工技术领域，具体涉及一种TFT面板机台的管道清洗剂。以质量百分含量计，其组成如下：强碱性物质5%~10%；有机助剂10%~15%；表面活性剂3%~10%；螯合剂1%~5%；抗污垢再沉积剂0.5%~2%；杀菌剂0.05%‑0.1%；余量的去离子水。本发明该管道清洗剂不但能有效降低因使用时间长久管菌数量爆发引起的管道污染，而且能抑制管道细菌的生长，大大延缓其爆发周期。采用该管道清洗剂和行业内在用的玻璃基板清洗剂大都兼容，清洗管道后不会有残留，不会影响正常清洗工艺的良率。

技术领域

本发明平板显示生产领域，具体涉及一种TFT面板机台的管道清洗剂。

背景专利

在平板显示领域中，包括液晶显示（LCD）、触摸屏（TP）、有机电致发光（OLED）显示用玻璃基板的制备工艺过程中首先会使用的前清洗制程用以除去附着于玻璃基板在镀膜前存在的指纹、灰尘、玻璃粉、油脂及其他有机或无机固体粒子。在高世代线，清洗药液一般在机台和管路中的循环流程为：清洗药液按配比注入机台Tank——高效滤芯过滤——水泵抽取加压喷淋清洗和滚刷清洗——高效滤芯过滤——药液回流tank，清洗温度为40±10℃。喷淋带来了丰富的泡沫和空气，长时间的恒温条件以及机台因为满产基本只有每月一次的停机清理等因素，导适在这种条件下逐渐适应环境的细菌会慢慢生长并附着于管路内壁。随着管菌的繁衍，其新陈代谢物在内壁会附着并逐渐堆积，并且吸附清洗玻璃时脱落下来的脏污杂物。细菌的爆发会导致管路滤芯使用寿命的从每月一换增加到每5天一换；吸附的杂物有时也会因为液体流动带着细菌结块脱落，引起局部污染严重而导致产品良率下降。一般新建成的世代线使用到3-5年左右就会发生管菌生长爆发而导致的滤芯堵塞、清洗药液使用寿命降低、增加机台维护和保养等现象，影响良率，降低产能。

由于高世代线投入很高，所以全球的高世代线也不过几十条，所以针对管菌生长引起的污染并没有针对性较强的清洗产品。其他行业比如石油行业、污水行业等管道清洗剂成分复杂，不能满足于泛半导体行业的TFT生产对于原料的苛刻要求，另外厂家由于成本和产能的关系，也不会冒险使用其他行业的管道清洗剂。常见的提高世代线冲洗压力，加大清洗剂浓度和频率的冲洗管道方法虽然可以减轻管壁附着的菌斑，但是不但影响产能，而且治标不治本，细菌残留很多，很容易在温暖且富集氧气的生产环境中再次滋生，重新导致爆发污染。

发明内容

本发明的目的是提供一种TFT面板机台的管道清洗剂，特别适用于高世代线玻璃清洗制程。该管道清洗剂不但能有效降低因使用时间长久管菌数量爆发引起的管道污染，而且能抑制管道细菌的生长，大大延缓其爆发周期。采用该管道清洗剂和行业内在用的玻璃基板清洗剂大都兼容，清洗管道后不会有残留，不会影响正常清洗工艺的良率。

本发明提供的TFT面板机台的管道清洗剂，以质量百分数含量计，其组成如下：

强碱性物质 5%~10%；

有机助剂 10%~15%；

表面活性剂 3%~10%；

螯合剂 1%~5%；

抗污垢再沉积剂 0.5%~2%；

杀菌剂 0.05%-0.1%；

余量为去离子水。

上述的玻璃基板环保水基管道清洗剂中，所述强碱性物质为无机碱或有机碱。

无机碱包括氢氧化钾或氢氧化钠；有机碱包括四甲基氢氧化铵或四乙基氢氧化铵。优选无机碱中的氢氧化钾。