[发明专利]一种制备高热导率氮化硅陶瓷的方法有效
申请号: | 201910067010.X | 申请日: | 2019-01-24 |
公开(公告)号: | CN109851369B | 公开(公告)日: | 2022-04-05 |
发明(设计)人: | 曾宇平;王为得;左开慧;夏咏锋;姚冬旭;尹金伟;梁汉琴 | 申请(专利权)人: | 江西中科上宇科技有限公司 |
主分类号: | C04B35/584 | 分类号: | C04B35/584;C04B35/645 |
代理公司: | 上海瀚桥专利代理事务所(普通合伙) 31261 | 代理人: | 曹芳玲;郑优丽 |
地址: | 333032 江*** | 国省代码: | 江西;36 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 制备 高热 氮化 陶瓷 方法 | ||
1.一种制备氮化硅陶瓷的方法,其特征在于,包括:
将α-Si3N4粉体和烧结助剂混合均匀,压制成型制得坯体;
将所述坯体在惰性气氛下于1780℃~1950℃进行气压烧结,然后冷却至室温,得到所述氮化硅陶瓷;
所述烧结助剂由主烧结助剂硅化物和辅烧结助剂氧化镁组成,所述α-Si3N4粉体与所述烧结助剂的比例为(90mol%:10mol%)~(99mol%:1mol%);
所述硅化物为CaSi2、TiSi2、VSi2、CrSi2、ZrSi2、NbSi2、TaSi2、MoSi2、WSi2中的一种;
所述硅化物与氧化镁的摩尔比为(1:1)~(6:1)。
2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述α-Si3N4粉体与所述烧结助剂的比例为(90mol%:10mol%)~(95mol%:5mol%)。
3.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述压制成型包括依次进行干压成型和等静压处理,所述干压成型的压力为10~25MPa,所述等静压处理的压力为100~300MPa。
4.根据权利要求3所述的方法,其特征在于,所述等静压处理为冷等静压处理。
5.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述气压烧结的工艺条件为:在气压为1-10MPa的条件下,以3-15℃/min的速率升温至1780-1950℃,并保温2-20小时。
6.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述惰性气氛为N2。
7.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,冷却至室温包括:以5-15℃/min的降温速率冷却至1000℃~1400℃,然后随炉冷却至室温。
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