[发明专利]使用带电粒子束测量集成电路内的高速电活动的方法和设备在审
| 申请号： | 201910067120.6 | 申请日： | 2019-01-24 |
| 公开（公告）号： | CN110082664A | 公开（公告）日： | 2019-08-02 |
| 发明（设计）人： | J.威克斯;S.索曼尼;C.坎波希亚罗;Y.波洛夫 | 申请（专利权）人： | FEI公司 |
| 主分类号： | G01R31/28 | 分类号： | G01R31/28;G01R31/307 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 刘茜璐;闫小龙 |
| 地址： | 美国俄*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 带电粒子束 基板材料 源电路 源IC 成像 探测 聚焦离子束系统 扫描电子显微镜 测量集成电路 终点检测装置 方法和设备 红外摄像机 选择性去除 电压对比 方法使用 结构成像 离子轰击 探测区域 电活动 电状态 硅基板 铣削 去除 制备 集成电路 电路 测量 观测 诊断 观察 | ||
1.一种测量IC中的电活动的方法，所述方法包括：
以第一频率电激活所述IC；
将带电粒子束引导到所述IC上的探测器位置；
以第二频率调制所述带电粒子束，第二频率与第一频率不同；并且
检测由于所述带电粒子束从所述探测器位置发射的二次电子，其中由于对所述带电粒子束的调制，所述二次电子处于接收二次电子的检测器的带宽内。
2.根据权利要求1所述的方法，其中所述第一频率在所述检测器的带宽外。
3.根据权利要求1所述的方法，其中所述第二频率在所述检测器的带宽外。
4.根据权利要求1所述的方法，其还包括将所述第二频率与所述第一频率锁相。
5.根据权利要求4所述的方法，其中将所述第二频率与所述第一频率锁相包括：
将所述第一频率的导数和所述第二频率的导数锁相；并且
基于所述导数的锁相，向提供所述第二频率的压控振荡器提供反馈。
6.根据权利要求5所述的方法，其中所述第一频率的导数与所述第二频率的导数不同。
7.根据权利要求1所述的方法，其还包括：
将光束引导到与所述经调制的带电粒子束重合的探测器位置。
8.根据权利要求1所述的方法，其中以第一频率电激活所述IC包括利用基于所述第一频率的测试信号来驱动所述IC。
9.根据权利要求8所述的方法，其中调制所述带电粒子束，使得单个脉冲在单个测试信号期间指向所述IC。
10.一种系统，其包括：
耦合以提供电子束的电子束柱；
耦合以响应控制信号调制所述电子束的电子束调制器；
检测二次电子的检测器；和
至少耦合到所述电子束柱、电子束调制器和所述检测器的控制器，所述控制器配置成：
以第一频率电激活所述IC；
将带电粒子束引导到所述IC上的探测器位置；
以第二频率调制所述带电粒子束，第二频率与第一频率不同；
检测由于所述带电粒子束从所述探测器位置发射的二次电子，其中由于对所述带电粒子束的调制，所述二次电子处于接收二次电子的检测器的带宽内。
11.根据权利要求10所述的系统，其中所述第一频率在所述检测器的带宽外。
12.根据权利要求10所述的系统，其中所述第二频率在所述检测器的带宽外。
13.根据权利要求10所述的系统，其中所述控制器进一步配置为将所述第二频率与所述第一频率锁相。
14.根据权利要求13所述的系统，其中为了将所述第一和第二频率锁相，所述控制器配置为：
将所述第一频率的导数和所述第二频率的导数锁相；并且
基于所述导数的锁相，向提供所述第二频率的压控振荡器提供反馈。
15.根据权利要求14所述的系统，其中所述第一频率的导数与所述第二频率的导数不同。
16.根据权利要求10所述的系统，其中所述控制器进一步配置成将光束引导到与所述经调制的带电粒子束一致的探测器位置。
17.根据权利要求10所述的系统，其中以第一频率电激活所述IC包括利用基于所述第一频率的测试信号来驱动所述IC。
18.根据权利要求17所述的系统，其中调制所述带电粒子束，使得单个脉冲在单个测试信号期间指向所述IC。
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