[发明专利]用于周期性样式的异常检测有效

专利信息
申请号: 201910067930.1 申请日: 2019-01-24
公开(公告)号: CN111476938B 公开(公告)日: 2023-04-28
发明(设计)人: 张兆礼;马卫民;杨康康;赵焱 申请(专利权)人: 中科晶源微电子技术(北京)有限公司
主分类号: G07D7/202 分类号: G07D7/202
代理公司: 北京汇知杰知识产权代理有限公司 11587 代理人: 杨彦鸿;张婷婷
地址: 100176 北京市大*** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 用于 周期性 样式 异常 检测
【权利要求书】:

1.一种用于周期性样式的基于图像的异常检测的方法,包括:

接收从检验图像确定的图像样式(T),其中,该图像样式(T)包括沿着空间方向的多个周期性片段;

处理器通过以第一方式重新排列所述图像样式(T)的多个周期性片段,从而确定第一参考样式(R1),并且,通过以第二方式重新排列所述图像样式(T)的多个周期性片段,从而确定第二参考样式(R2);其中,所述第一参考样式(R1)和所述第二参考样式(R2)包括与所述图像样式(T)相同数量的片段,所述第一参考样式(R1)包括从所述图像样式(T)的第一组连续周期性片段复制的第一部分和从所述图像样式(T)的第二组连续周期性片段复制的第二部分,所述第二参考样式(R2)包括从所述图像样式(T)的第三组连续周期性片段复制的第三部分和从所述图像样式(T)的第四组连续周期性片段复制的第四部分,所述第一组连续周期性片段、所述第二组连续周期性片段、所述第三组连续周期性片段、以及所述第四组连续周期性片段是所述图像样式(T)的不同的周期性片段;

通过将所述图像样式(T)的一部分与所述第一参考样式(R1)的一部分和所述第二参考样式(R2)的一部分相比较,从而确定所述图像样式(T)中是否存在异常;以及

基于所述图像样式(T)的一部分与所述第一参考样式(R1)的一部分和所述第二参考样式(R2)的一部分不同,确定所述图像样式(T)中存在异常。

2.如权利要求1所述的方法,其中,

所述图像样式(T)的第一个片段与所述第一参考样式(R1)的第一部分的第一个片段和所述第二参考样式(R2)的第三部分的第一个片段对齐,所述图像样式(T)的最后一个片段与所述第一参考样式(R1)的第二部分的最后一个片段和所述第二参考样式(R2)的第四部分的最后一个片段对齐。

3.如权利要求1所述的方法,其中,所述图像样式(T)包括n个周期性片段,n是大于1的整数,

所述第一组连续周期性片段包括所述图像样式(T)的n1个连续周期性片段,不包括所述图像样式(T)的第一个周期性片段,n1是正整数,

所述第二组连续周期性片段包括所述图像样式(T)的(n-n1)个连续周期性片段,不包括所述图像样式(T)的最后一个周期性片段,

所述第三组连续周期性片段包括所述图像样式(T)的n2个连续周期性片段,不包括所述图像样式(T)的最初两个周期性片段,n2是正整数,

所述第四组连续周期性片段包括所述图像样式(T)的(n-n2)个连续周期性片段,不包括所述图像样式(T)的最后两个周期性片段。

4.如权利要求3所述的方法,其中,所述第一组连续周期性片段包括所述图像样式(T)的第(m1+1)个周期性片段至第(m1+n1)个周期性片段,m1是小于或等于n1的正整数,n1小于或等于(n-m1),

所述第二组连续周期性片段包括所述图像样式(T)的第(n1-m1+1)个周期性片段至第(n-m1)个周期性片段,

所述第三组连续周期性片段包括所述图像样式(T)的第(m2+1)个周期性片段至第(m2+n2)个周期性片段,m2是小于或等于n2且与m1不同的正整数,n2小于或等于(n-m2),

所述第四组连续周期性片段包括所述图像样式(T)的第(n2-m2+1)个周期性片段至第(n-m2)个周期性片段。

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