[发明专利]激光清洗装置

权利要求书

1.一种激光清洗装置，其特征在于，包括脉冲光路单元、连续光路单元和合束镜；所述合束镜包括两个侧面，一个侧面为透射镜面，另一个侧面为反射镜面，所述脉冲光路单元位于所述合束镜的所述反射镜面一侧，所述连续光路单元位于所述合束镜的所述透射镜面一侧；所述脉冲光路单元向所述反射镜面射出脉冲激光，所述连续光路单元向所述透射镜面射出连续激光，所述连续激光经所述透射镜面透射并从所述合束镜的所述反射镜面射出；经所述反射镜面反射后的所述脉冲激光和从所述反射镜面射出的所述连续激光相叠合形成用于清洗的合束激光。

2.根据权利要求1所述的激光清洗装置，其特征在于，所述合束镜旋转可调，以使分别经所述合束镜射出的所述脉冲激光与所述连续激光之间构造有第一夹角，所述合束镜的旋转角大小范围为-2～2°，所述第一夹角的大小范围为-4～4°。

3.根据权利要求2所述的激光清洗装置，其特征在于，还包括聚焦镜，所述聚焦镜沿所述合束激光光路传播方向设于所述合束镜之后，组成所述合束激光的所述脉冲激光和所述连续激光穿过所述聚焦镜并产生聚焦。

4.根据权利要求3所述的激光清洗装置，其特征在于，所述脉冲激光经所述聚焦镜聚焦后在待清洗物件表面形成第一扫描线，所述连续激光经所述聚焦镜后在所述待清洗物件表面形成第二扫描线，所述第一扫描线和所述第二扫描线的间距为0-15毫米。

5.根据权利要求1所述的激光清洗装置，其特征在于，所述连续光路单元包括用于产生所述连续激光的连续激光器，所述连续激光器的功率为500-6000W。

6.根据权利要求5所述的激光清洗装置，其特征在于，所述连续光路单元还包括准直镜、第一反射镜和第一振镜；沿所述连续激光传播方向，所述准直镜位于所述连续激光器之后，所述第一反射镜位于所述准直镜之后，所述第一振镜位于所述第一反射镜之后；所述连续激光器射出的所述连续激光依次经所述准直镜、所述第一反射镜以及所述第一振镜后射向所述合束镜的所述透射镜面。

7.根据权利要求5所述的激光清洗装置，其特征在于，所述连续激光的波长为915纳米。

8.根据权利要求1所述的激光清洗装置，其特征在于，所述脉冲光路单元包括用于产生所述脉冲激光的脉冲激光器，所述脉冲激光器的功率为50-500W，所述脉冲激光的频率为10-200kHz。

9.根据权利要求8所述的激光清洗装置，其特征在于，所述脉冲光路单元还包括第二反射镜、第二振镜和第三反射镜；沿所述脉冲激光传播方向，所述第二反射镜位于所述脉冲激光器之后，所述第二振镜位于所述第二反射镜之后，所述第三反射镜位于所述第二振镜之后；所述脉冲激光器射出的所述脉冲激光依次经所述第二反射镜、所述第二振镜以及所述第三反射镜后射向所述合束镜的所述反射镜面。

10.根据权利要求8所述的激光清洗装置，其特征在于，所述脉冲激光的波长为1064纳米。