[发明专利]一种微型潘宁离子源

权利要求书

1.一种微型潘宁离子源，其特征是：包括机壳(1)，所述机壳(1)内设置有阳极筒(2)，所述机壳(1)内设置有阴极(3)，所述阴极(3)位于所述机壳(1)的两端，所述阳极筒(2)位于所述阴极(3)之间，所述阴极(3)上设置有绝缘件(4)，所述绝缘件(4)包括设置在所述阴极(3)上用于与机壳(1)进行绝缘的第一绝缘块(41)、设置在所述第一绝缘块(41)上用于与阳极筒(2)进行绝缘的第二绝缘块(42)、设置在所述第一绝缘块(41)上用于与机壳(1)进行绝缘的第三绝缘块(43)，所述阳极筒(2)的两端开设有氢气通道(223)，所述阳极筒(2)远离氢气通道(223)的一侧开设有引出缝(224)，所述机壳(1)上开设有与所述氢气通道(223)连通的输气通道(5)。

2.根据权利要求1所述的一种微型潘宁离子源，其特征是：所述第三绝缘块(43)的两侧分别与所述第一绝缘块(41)和机壳(1)的内壁抵触，所述第二绝缘块(42)的两端分别与所述第一绝缘块(41)和阳极筒(2)抵触。

3.根据权利要求1所述的一种微型潘宁离子源，其特征是：所述阳极筒(2)包括筒体(21)和筒体(21)内形成的阳极腔(22)，所述阳极腔(22)包括中间腔室(221)和位于中间腔室(221)两端且与中间腔室(221)连通的端部腔室(222)，所述端部腔室(222)靠近中间腔室(221)一端的内径小于所述端部腔室(222)远离中间腔室(221)一端的内径，所述氢气通道(223)与端部腔室(222)连通，所述引出缝(224)与中部腔室连通。

4.根据权利要求3所述的一种微型潘宁离子源，其特征是：所述筒体(21)远离引出缝(224)一侧的内壁的厚度大于所述引出缝(224)所在一侧的内壁的厚度。

5.根据权利要求1所述的一种微型潘宁离子源，其特征是：所述第一绝缘块(41)、第二绝缘块(42)和第三绝缘块(43)均采用氮化硼制成。

6.根据权利要求1所述的一种微型潘宁离子源，其特征是：所述引出缝(224)的长度为5毫米，宽度为0.5毫米。

7.根据权利要求1所述的一种微型潘宁离子源，其特征是：所述氢气通道(223)的直径为2毫米。

8.根据权利要求3所述的一种微型潘宁离子源，其特征是：所述阳极腔(22)内输入的氢气为高纯氢气，输出压力为202.6千帕。

9.根据权利要求1所述的一种微型潘宁离子源，其特征是：所述阳极筒(2)采用铜制成。

10.根据权利要求1所述的一种微型潘宁离子源，其特征是：所述阴极(3)采用低出气的100%纯度的钽制成。