[发明专利]显示装置的制造装置在审
申请号: | 201910079736.5 | 申请日: | 2019-01-28 |
公开(公告)号: | CN110106479A | 公开(公告)日: | 2019-08-09 |
发明(设计)人: | 许明洙;李侑钟;金圣哲;卢喆来;郑成镐 | 申请(专利权)人: | 三星显示有限公司 |
主分类号: | C23C14/34 | 分类号: | C23C14/34;C23C14/50;C23C16/455;C23C16/458;C23C16/513;H01L51/56 |
代理公司: | 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 | 代理人: | 孙昌浩;李盛泉 |
地址: | 韩国京畿*** | 国省代码: | 韩国;KR |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 位置调节部 显示装置 制造装置 磁场 相隔 电场 方向调节 显示基板 屏蔽 | ||
1.一种显示装置的制造装置,其中,包括:
源部,产生电场或磁场;
载体,与所述源部相面对地布置,并且固定显示基板;
位置调节部,与所述载体相隔地布置,并且沿第一方向调节所述载体的位置;
载体移送部,沿第二方向移送所述载体;
载体引导部,与所述载体相隔地布置,并调整所述载体的位置;以及
屏蔽部,布置于所述位置调节部、所述载体移送部和所述载体引导部中的至少一个,从而阻断从所述位置调节部、所述载体移送部和所述载体引导部中的至少一个产生的磁场。
2.如权利要求1所述的显示装置的制造装置,其中,还包括:
载体姿势控制部,与所述位置调节部相隔地排列而控制所述载体的姿势。
3.如权利要求2所述的显示装置的制造装置,其中,
所述载体姿势控制部包括:
第一姿势控制部,布置于所述载体;以及
第二姿势控制部,与所述第一姿势控制部相隔地布置而控制所述载体的姿势。
4.如权利要求1所述的显示装置的制造装置,其中,
所述载体竖直地排列,所述位置调节部布置于所述载体的上面。
5.如权利要求1所述的显示装置的制造装置,其中,
所述载体引导部以与所述载体的一表面相面对的方式布置。
6.如权利要求1所述的显示装置的制造装置,其中,
所述载体引导部包括:
第一引导部,布置于所述载体的两个表面中的一表面侧;以及
第二引导部,与所述第一引导部相面对地布置,并布置于所述载体的两个表面中的另一表面侧。
7.如权利要求1所述的显示装置的制造装置,其中,
所述载体移送部包括:
第一移送部,布置于所述载体;以及
第二移送部,与所述第一移送部相隔地布置,并与所述第一移送部一同产生使所述载体移送的驱动力。
8.如权利要求1所述的显示装置的制造装置,其中,还包括:
间距测量传感器部,用于测量所述位置调节部和所述载体之间的间距。
9.如权利要求1所述的显示装置的制造装置,其中,还包括:
姿势测量传感器部,用于测量所述载体引导部和所述载体之间的间距。
10.如权利要求1所述的显示装置的制造装置,其中,
所述屏蔽部包括:阻断部,布置于所述位置调节部、所述载体移送部和所述载体引导部中的至少一个,从而阻断从所述位置调节部、所述载体移送部和所述载体引导部中的至少一个产生的磁场。
11.如权利要求10所述的显示装置的制造装置,其中,
所述屏蔽部还包括:磁场引导部,布置于所述阻断部,引导从所述位置调节部、所述载体移送部和所述载体引导部中的至少一个产生的磁场。
12.一种显示装置的制造装置,其中,包括:
第一腔室单元,用于装载或卸载显示基板;
第二腔室单元,用于将沉积物质沉积到所述显示基板;
移送单元,布置于所述第一腔室单元和所述第二腔室单元中的至少一个,并将所述显示基板从所述第一腔室单元移送到所述第二腔室单元,或者从所述第二腔室单元移送到所述第一腔室单元,
并且,所述移送单元包括:
载体,与源部对向地布置,并固定显示基板而移送所述显示基板;
位置调节部,与所述载体相隔地布置,并且沿第一方向调节所述载体的位置;
载体移送部,沿第二方向移送所述载体;
载体引导部,与所述载体相隔地布置,并调整所述载体的位置;以及
屏蔽部,布置于所述位置调节部、所述载体移送部和所述载体引导部中的至少一个,从而阻断从所述位置调节部、所述载体移送部和所述载体引导部中的至少一个产生的磁场。
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