[发明专利]一种氮气拉晶用管路及掺氮单晶拉制工艺

权利要求书

1.一种氮气拉晶用管路，其特征在于：包括氩气控制管路和氮气控制管路，所述氩气控制管路分别与单晶炉的副室和主室连接，所述氮气控制管路分别与所述单晶炉的副室和主室连接，所述氩气控制管路设有氩气进气管道，所述氮气控制管路设有氮气进气管道。

2.根据权利要求1所述的氮气拉晶用管路，其特征在于：所述氩气控制管路包括上氩气管路和下氩气管路，所述上氩气管路与所述下氩气管路并联，所述上氩气管路包括上氩气流量计和上氩气阀，所述上氩气流量计输入端与所述氩气进气管道连接，所述上氩气流量计输出端与所述上氩气阀一端连接，所述上氩气阀的另一端与所述副室连接。

3.根据权利要求2所述的氮气拉晶用管路，其特征在于：所述下氩气管路包括下氩气流量计、第一下氩气阀和第二下氩气阀，所述下氩气流量计的输入端与所述氩气进气管道连接，所述下氩气流量计的输出端与所述第一下氩气阀的一端连接，所述第一下氩气阀的另一端与所述第二下氩气阀连接，所述第二下氩气阀的另一端与所述上氩气阀的进气端连接，所述第二下氩气阀的进气端通过管道与所述主室连接。

4.根据权利要求2或3所述的氮气拉晶用管路，其特征在于：所述氮气控制管路包括上氮气管路和下氮气管路，所述上氮气管路与所述下氮气管路并联，所述上氮气管路包括上氮气流量计和上氮气阀，所述上氮气流量计的输入端与所述氮气进气管道连接，所述上氮气流量计的输出端与所述上氮气阀一端连接，所述上氮气阀的另一端与所述副室连接。

5.根据权利要求4所述的氮气拉晶用管路，其特征在于：所述下氮气管路包括下氮气流量计、第一下氮气阀和第二下氮气阀，所述下氮气流量计的输入端与所述氮气输入管道连接，所述下氮气流量计的输出端与所述第一下氮气阀的一端连接，所述第一下氮气阀的另一端与所述第二下氮气阀一端连接，所述第二下氮气阀的另一端与所述上氮气阀的进气端连接，所述第二下氮气阀的进气端与所述主室连接。

6.一种掺氮单晶拉制工艺，依次包括拆炉、装炉、熔硅、引晶、缩颈、放肩、转肩、等径和收尾，其特征在于：

所述熔硅过程中，打开所述氩气控制管路，通入氩气，所述氮气控制管路关闭；

所述引晶、所述缩颈、所述放肩、所述转肩、所述等径与所述收尾过程中，所述氮气控制管路与所述氩气控制管路均打开，同时通入氮气和氩气。

7.根据权利要求6所述的掺氮单晶拉制工艺，其特征在于：所述氩气的流量为25-30slpm。

8.根据权利要求7所述的掺氮单晶拉制工艺，其特征在于：所述氮气的流量为20-35slpm。

9.根据权利要求7或8所述的掺氮单晶拉制工艺，其特征在于：在同时通入所述氮气和氩气时，所述单晶炉的炉压为9-15torr。

10.根据权利要求9所述的掺氮单晶拉制工艺，其特征在于：氮气与氩气混合气体中，所述氮气的体积占比为38％-44％。