[发明专利]一种硅烷充装的气化增压系统在审
| 申请号： | 201910080836.X | 申请日： | 2019-01-28 |
| 公开（公告）号： | CN109723967A | 公开（公告）日： | 2019-05-07 |
| 发明（设计）人： | 陶刚义 | 申请（专利权）人： | 内蒙古兴洋科技有限公司 |
| 主分类号： | F17C7/04 | 分类号： | F17C7/04;F17C13/00 |
| 代理公司： | 北京慕达星云知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11465 | 代理人： | 李冉 |
| 地址： | 017000 内蒙古自治区鄂*** | 国省代码： | 内蒙古;15 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 硅烷 气化器 气化罐 增压 气化增压 充装 设备投资成本 电子级硅烷 充装系统 单独使用 液态硅烷 压力计 压缩机 液位计 储罐 钢瓶 气化 能耗 泄露 污染 环节 | ||
1.一种硅烷充装的气化增压系统，其特征在于，包括：硅烷气化罐和气化器；
所述硅烷气化罐一端与硅烷储罐相连，另一端与所述气化器相连；所述气化器的另一端与钢瓶充装系统连接；
所述硅烷气化罐上安装有液位计；所述气化器上安装有压力计；
将液态硅烷从所述硅烷储罐输送到硅烷气化罐内，当所述液位计检测到所述硅烷气化罐内的液位达到预设值时，停止进液，之后液态硅烷进入气化器，在气化器内将液态硅烷进行加热气化和增压，当气化后的硅烷达到预设压力值后，将硅烷输送到硅烷充装站进行充装。
2.根据权利要求1所述的一种硅烷充装的气化增压系统，其特征在于，所述硅烷气化罐上设置有泄压阀和压力表。
3.根据权利要求1所述的一种硅烷充装的气化增压系统，其特征在于，所述液位计两端通过阀门与硅烷气化罐的顶部和底部相连。
4.根据权利要求3所述的一种硅烷充装的气化增压系统，其特征在于，所述硅烷气化罐上还安装有温度计和安全阀。
5.根据权利要求4所述的一种硅烷充装的气化增压系统，其特征在于，所述气化器包括：壳体，所述壳体上设置有热媒进口、热媒出口、进口和出口，所述壳体内部还安装有传热管；
所述进口与所述硅烷气化罐相连，所述出口与所述钢瓶充装系统连接，且在所述出口处设置有所述压力计。
6.根据权利要求5所述的一种硅烷充装的气化增压系统，其特征在于，所述进口压力范围为0.1～15MPa，所述出口压力范围为0.5～20MPa。
7.根据权利要求5所述的一种硅烷充装的气化增压系统，其特征在于，还包括：回气管道，所述回气管道一端与硅烷气化罐连接，另一端与所述出口连接。
8.根据权利要求1所述的一种硅烷充装的气化增压系统，其特征在于，所述硅烷气化罐为金属材质，其工作压力为0～20MPa，工作温度为-100℃～50℃。
9.根据权利要求1所述的一种硅烷充装的气化增压系统，其特征在于，所述气化器采用盘管式气化器或列管式气化器，其工作温度范围为-90℃～80℃，最高工作压力为20MPa。
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