[发明专利]一种基于MEMS的光开关

权利要求书

1.一种基于MEMS的光开关，包括设有多个光路的输入输出系统、第一透镜，以及MEMS转镜，所述第一透镜设于输入输出系统和MEMS转镜之间，其特征在于：所述光开关还包括反射镜，所述输入输出系统中输入的光线经第一透镜进入其镜面发生角度偏转的MEMS转镜反射至反射镜，再由反射镜反射至MEMS转镜，经MEMS转镜的镜面再次反射进入输入输出系统后输出。

2.根据权利要求1所述的光开关，其特征在于：所述MEMS转镜的镜面与第一透镜的轴线呈锐角。

3.根据权利要求1所述的光开关，其特征在于：所述反射镜的镜面上设有高反膜。

4.根据权利要求1所述的光开关，其特征在于：所述MEMS转镜包括单轴MEMS转镜与双轴MEMS转镜。

5.根据权利要求1或2所述的光开关，其特征在于：所述光开关还包括设于反射镜上背离其镜面设置的第二透镜和用于探测输入光线光功率的光探测器。

6.根据权利要求5所述的光开关，其特征在于：所述第一透镜和第二透镜均为自聚焦透镜、球透镜、非球面透镜中的一种。

7.根据权利要求1所述的光开关，其特征在于：所述MEMS转镜的镜面发生角度偏转的驱动方式为静电驱动、电磁驱动和压电驱动中的一种。

8.根据权利要求1所述的光开关，其特征在于：所述输入输出系统包括一输入光路及至少两个输出光路。

9.根据权利要求1所述的光开关，其特征在于：所述输入输出系统包括一中空结构，以及安装于中空结构中用于输入输出光线的至少三根光纤。

10.根据权利要求9所述的光开关，其特征在于：所述中空结构包括毛细管。