[发明专利]基于MEMS微振镜的固态激光雷达装调方法

说明书

本发明公开了一种基于MEMS微振镜的固态激光雷达装调方法，包括：安装激光发射二极管和激光准直镜，将激光发射二极管和激光准直镜的光轴调整至与平行光管的光轴相平行；以平行光管的位置和光轴为基准，利用五棱镜将经安装的平面反射镜反射出的激光偏转至平行光管的十字分划板正中心；安装MEMS微振镜和相机，使得MEMS微振镜在相机中清晰成像；利用图像质心检测算法和相机检测并计算MEMS微振镜的镜面质心和镜面上光斑质心的坐标；微调MEMS微振镜直至两者的质心坐标重合。通过本发明的技术方案，有效提升了激光和微振镜的实时位置检测精度，大幅度提升了激光和MEMS微振镜的同轴度，同时提高了固态激光雷达装调效率。

技术领域

本发明涉及光学技术领域，尤其涉及一种基于MEMS微振镜的固态激光雷达装调方法。

背景技术

激光雷达的工作原理如图1所示，利用控制系统首先设置扫描系统扫描参数同时激光发射器发射激光，当激光到达目标上时反射回来，由激光接收系统接收信号并计算出目标距离；在激光测距系统测距时，激光扫描系统进行扫描，使激光发射器的发射角度不停改变，最终遍历整个视场完成扫描工作；在激光扫描过程中，扫描系统把采集到的数据传输到上位机上，上位机完成数据的三维可视化湿示和存储，用于后续数据处理。目前最新用于无人驾驶领域的激光雷达为满足安全驾驶需要对探测精度要求极高，而主要影响激光雷达精度的是算法精度和扫描系统的装调精度。

激光雷达最初采用的是机械旋转式结构，即通过旋转激光束来进行水平360度的扫描。而作为汽车部件，低成本、小体积且能嵌入车身，固态激光雷达是解决高昂成本和极端环境适应的方案。因此未来固态激光雷达是应用趋势，既可降成本又符合车载需求。目前未能得到广泛应用的主要障碍是其低下的产能以及随之带来的高昂的价格。激光雷达的光学元件的精度极高，对出厂调试有很高要求，低效率的调试装配是主要的产能释放和成本降低瓶颈。

目前针对车载自动驾驶级的激光雷达光学系统装调方法较少，而基于MEMS微振镜的固态激光雷达光轴同轴度装调方法还未曾报道，MEMS微振镜扫描角度受驱动电压函数控制，当驱动电压不断变化时MEMS微振镜扫描角度也相应变化，发射激光束经振镜反射后出射进行目标扫描。而MEMS微振镜和激光束的同轴度决定了激光扫描目标空间位置的准确性。

发明内容

针对上述问题中的至少之一，本发明提供了一种基于MEMS微振镜的固态激光雷达装调方法，针对发射和扫描光学系统，利用平行光管、五棱镜和相机等简单的测量设备可快速便捷装调激光雷达发射系统的各个光学元件，利用相机对激光位置和微振镜位置进行实时检测，通过基于相机的图像质心检测算法处理，可实时高效调整激光和MEMS微振镜的同轴度，有效提升了激光和微振镜的实时位置检测精度，大幅度提升了激光和MEMS微振镜的同轴度，同时提高了固态激光雷达装调效率。

为实现上述目的，本发明提供了一种基于MEMS微振镜的固态激光雷达装调方法，包括：步骤S1：安装激光发射二极管和激光准直镜，并利用平行光管法将所述激光发射二极管和所述激光准直镜的光轴调整至与平行光管的光轴相平行；步骤S2：以所述平行光管的位置和光轴为基准，利用五棱镜将经安装的平面反射镜反射出的激光偏转至所述平行光管的十字分划板正中心；步骤S3：将所述五棱镜撤下后安装MEMS微振镜和相机，使得所述MEMS微振镜在所述相机中清晰成像；步骤S4：利用图像质心检测算法和所述相机检测并计算所述MEMS微振镜的镜面质心和镜面上光斑质心的坐标；步骤S5：判断所述MEMS微振镜的镜面质心坐标和所述镜面上光斑质心的坐标是否重合，若重合，则完成对所述MEMS微振镜的装调，若不重合，则微调所述MEMS微振镜直至两者的质心坐标重合。

在上述技术方案中，优选地，步骤S1中，所述利用平行光管法将所述激光发射二极管和所述激光准直镜的光轴调整至与平行光管的光轴相平行具体包括：微调所述激光准直镜，使得所述激光发射二极管经过所述激光准直镜后的激光在通过所述平行光管后的光斑位于所述平行光管的十字分划板的正中心，则所述激光发射二极管与所述激光准直镜的光轴与所述平行光管的光轴平行。