[发明专利]一种光纤探头式清洁、检测系统及其制作和使用方法

权利要求书

1.一种光纤探头式清洁和检测系统的使用方法，包括光谱分析仪（1）和环形器（4），所述光谱分析仪（1）和环形器（4）之间设有两条前段单模光纤（5），其中一条前段单模光纤（5）上设有衰减器（2），另一条前段单模光纤（5）上设有放大器（3），所述环形器（4）上还设有后段单模光纤（6），后段单模光纤（6）上依次设有位移台（9）和光纤探头（10），所述光谱分析仪（1）包括激光器（7）和光谱仪（8），激光器（7）与放大器（3）所在的前段单模光纤（5）连接，光谱仪（8）与衰减器（2）所在的前段单模光纤（5）连接，其特征在于，包括以下步骤：

步骤1：将待清洁面浸没在液体中，调节位移台（9），使光纤探头（10）端面与待清洁面平行，相距24-150μm；

步骤2：打开激光器（7），调节位移台（9），使光纤探头（10）移动，观察光谱仪（8）上干涉信号：若干涉信号光滑，表明光纤正对位置待清洁面光滑；若干涉信号不光滑，表明光纤正对位置待清洁面有杂质，固定位移台（9）；

步骤3：缓慢调节放大器（3），使光功率逐渐增大，直至光纤端面不断有气泡产生，系统进入整体清洁模式，通过调节光功率可控制气泡的产生速率，气泡产生越快，整体清洁效率越高；

步骤4：缓慢调节放大器（3），使光功率逐渐降低，观察光谱仪（8），当光谱仪（8）产生的正弦信号对比度增大，表明光纤探头（10）与待清洁面之间仅存在一个气泡，系统进入局部清洁模式，调节位移台，使光纤探头（10）前后移动，利用光纤探头（10）上的气泡点触待清洁面；当光谱仪（8）上显示光滑的干涉信号，表明气泡接触区域洁净度良好，完成该点清洁；

步骤5：重复步骤1-4，进行其他位置的清洁与检测。