[发明专利]图案描绘装置及基板处理装置

权利要求书

1.一种图案描绘装置，其一面根据图案来对脉冲射束的聚焦光进行强度调变，一面在基板上沿主扫描方向使上述聚焦光相对地扫描，藉此在上述基板上描绘上述图案，该脉冲射束来自脉冲光源装置，且具备：

描绘数据存储部，其藉由对应上述聚焦光的尺寸而设定的尺寸Pxy的像素将上述图案分割，并将多个上述像素的各个作为以与上述图案对应的逻辑信息表示的描绘数据而存储；

时脉产生部，其具有在将上述聚焦光的扫描速度设为Vs、N设为2以上的整数时以Pxy/(N×Vs)决定的基准周期，并在上述聚焦光的扫描中对每个上述尺寸Pxy产生N个时脉脉冲；

光源控制部，其以响应上述时脉脉冲产生上述脉冲射束的方式控制上述脉冲光源装置，并根据自上述描绘数据存储部依序送出的上述描绘数据的每个上述像素的上述逻辑信息调变上述脉冲射束的上述聚焦光的强度；

修正像素指定部，其在沿上述主扫描方向排列的多个上述像素之中，指定配置在离散的位置的至少1个上述像素作为修正像素；及

送出时点切换部，其以在上述聚焦光扫描上述修正像素以外的非修正像素的时点，N个上述时脉脉冲与1个像素对应，在上述聚焦光扫描上述修正像素的时点，N±m个上述时脉脉冲与1个像素对应的方式，切换上述像素的上述逻辑信息的从上述描绘数据存储部的送出时点，m为具有m＜N的关系的1以上的整数。

2.如权利要求1所述的图案描绘装置，其中

具备多个扫描单元，该扫描单元具有为了上述聚焦光的往上述主扫描方向的扫描而使上述脉冲射束一维地偏向的多角镜、及供以上述多角镜偏向后的上述脉冲射束射入并作为上述聚焦光聚光在上述基板上的光学透镜构件；

藉由从多个上述扫描单元的各个投射的上述聚焦光在上述基板上描绘上述图案。

3.如权利要求2所述的图案描绘装置，其具备：

多角镜驱动控制部，其以上述多个扫描单元的各个的上述多角镜的旋转角度位置成为既定的相位关系的方式使上述多角镜的各个同步旋转；及

射束切换部，其将来自上述脉冲光源装置的上述脉冲射束以对应上述多角镜的旋转角度位置而依序引导至上述多个扫描单元中的任一个的方式进行切换。

4.如权利要求3所述的图案描绘装置，其具备

修正信息存储部，其将用以指定位在沿上述主扫描方向上的多个上述像素之中，成为修正对象的上述修正像素的修正信息存储在上述多个扫描单元的每一个；

上述修正像素指定部根据上述修正信息，指定位在上述扫描单元的描绘范围中的上述修正像素，该修正信息与藉由上述射束切换部而上述脉冲射束入射的该扫描单元对应。

5.如权利要求4所述的图案描绘装置，其中

上述修正信息包含用以对应在上述描绘范围内描绘的图案的描绘倍率而对沿上述主扫描方向上的离散的多个位置的各个指定上述修正像素的修正位置信息；

上述修正像素指定部根据上述修正位置信息指定离散分布的多个上述修正像素；

上述送出时点切换部以N±m个上述时脉脉冲对应上述多个修正像素的各个的方式，切换上述逻辑信息的从上述描绘数据存储部的送出时点。

6.如权利要求5所述的图案描绘装置，其中

上述修正信息包含用以对应在上述描绘范围内描绘的图案的描绘倍率而设定上述±m的值的倍率信息。

7.如权利要求3至6中任一权利要求所述的图案描绘装置，其中

上述射束切换部具有沿来自上述脉冲光源装置的上述脉冲射束的行进方向而串联地配置，且切换上述脉冲射束的光路而选择上述脉冲射束所射入的1个上述扫描单元的多个选择用光学元件。

8.如权利要求7所述的图案描绘装置，其中

上述多个选择用光学元件的各个是与上述多个扫描单元的各个对应设置，且切换是否使上述脉冲射束射入至对应的上述扫描单元的声光偏向元件或电光偏向元件。