[发明专利]一种薄膜溅射控制装置和方法

权利要求书

1.一种薄膜溅射控制装置，其特征在于，包括：

电源模块(1)，其正极连接至薄膜溅射腔体(7)的阳极，负极连接至薄膜溅射腔体(7)的阴极；

电压监控器(2)，并联连接到所述电源模块(1)的正极和负极之间，用于获取所述薄膜溅射腔体(7)的溅射电压；

电流监控器(3)，串联连接到所述电源模块(1)的负极和所述薄膜溅射腔体(7)的阴极之间，用于获取所述薄膜溅射腔体(7)的溅射电流；

溅射控制器(4)，分别电连接到所述电源模块(1)、电压监控器(2)和电流监控器(3)，用于根据所述薄膜溅射腔体(7)的溅射电压和溅射电流，补偿所述薄膜溅射腔体(7)的溅射功率，使溅射速率恒定。

2.根据权利要求1所述的一种薄膜溅射控制装置，其特征在于，还包括：电阻适配器(5)；

所述电阻适配器(5)的一端与所述电流监控器(3)连接，所述电阻适配器(5)的另一端和所述电源模块(1)的负极连接；

所述溅射控制器(4)并联在所述电流监控器(3)和所述电阻适配器(5)的两端。

3.根据权利要求1或2所述的一种薄膜溅射控制装置，其特征在于，所述电源模块(1)包括：

电源供应器(11)，其一端连接至三相交流电，用于将所述三相交流电进行整流滤波得到单向电压和单向电流；

截波控制器(12)，其一端与所述电源供应器(11)的另一端连接，用于将所述直流电转变为固定电压或可调电压的直流电；

电弧检测和开关电路(13)，其一端与所述截波控制器(12)的另一端连接，其另一端与所述薄膜溅射腔体(7)连接，用于控制所述截波控制器(12)的输出电压的放电稳定。

4.根据权利要求1-3任一项所述的一种薄膜溅射控制装置，其特征在于，所述电源供应器(11)包括：电源滤波器(110)、整流器(111)、二极管D1(112)和第一滤波电路(113)；

所述电源滤波器(110)的三个端分别与三相交流电的对应的输出端连接，所述电源滤波器(110)的三个输出端分别连接至整流器(111)的对应的输入端；

所述整流器(111)的三个输出端分别连接至所述二极管D1(112)的输入端；

所述二极管(112)的输出端与所述第一滤波电路(113)连接。

5.根据权利要求1-4任一项所述的一种薄膜溅射控制装置，其特征在于，所述截波控制器(12)包括：场效应管F1(120)、变压器(121)、二极管D2(122)和第二滤波电路(123)；

所述场效应管F1(120)的输出端与所述变压器(121)的输入端连接，所述变压器(121)的输出端与所述二极管D2(122)的输入端连接，所述二极管D2(122)的输出端与所述第二滤波电路(123)连接。

6.根据权利要求1-5任一项所述的一种薄膜溅射控制装置，其特征在于，所述电弧检测和开关电路(13)包括：场效应管F2(130)；

所述场效应管F2(130)的输出端连接至所述溅射枪和所述靶材。

7.根据权利要求4所述的一种薄膜溅射控制装置，其特征在于，所述电源模块(1)还包括：电压采样元件(14)、电流采样元件(15)和电源控制器(16)；

所述电压采样元件(14)，与所述电源控制器(16)连接，用于采集所述电源模块(1)的输出电压；

所述电流采样元件(15)，与所述电源控制器(16)连接，用于采集所述电源模块(1)的输出电流；

所述电源控制器(16)，分别与所述电源供应器(11)、截波控制器(12)和电弧检测和开关电路(13)连接，用于基于所述电源模块(1)的输入电压和输入电流分别对所述电源供应器(11)、所述截波控制器(12)和所述电弧检测和开关电路(13)的输出电压和输出电流进行控制，使得输出电压和输出电流保持稳定。