[发明专利]图案描绘装置及基板处理装置

权利要求书

1.一种图案描绘装置，其藉由将根据与应描绘的图案对应的描绘数据强度调变后的聚焦光在基板上于主扫描方向扫描的描绘单元，在上述基板上描绘图案，且具备：

第1光源装置，其包含将成为上述聚焦光的起源的种子光以频率Fb产生成脉冲状的第1脉冲光源部、响应上述描绘数据而以电性控制调变上述种子光的波峰强度的第1电光调变器、将被调变的上述种子光放大的第1光放大器、及将放大后的上述种子光的谐波作为上述频率Fb的脉冲状的第1射束而生成的第1波长转换光学元件；

第2光源装置，其包含将成为上述聚焦光的起源的种子光以上述频率Fb产生成脉冲状的第2脉冲光源部、响应上述描绘数据而以电性控制调变上述种子光的波峰强度的第2电光调变器、将该被调变的上述种子光放大的第2光放大器、及将放大后的上述种子光的谐波作为上述频率Fb的脉冲状的第2射束而生成的第2波长转换光学元件；

控制电路，其以具有上述频率Fb的半周期的量的相位差而产生上述第1射束及上述第2射束的方式，控制上述第1脉冲光源部及上述第2脉冲光源部；及

合成光学部，其为了生成上述聚焦光，将上述第1射束及上述第2射束合成且将以频率2Fb产生成脉冲状的合成射束朝向上述描绘单元射出。

2.如权利要求1所述的图案描绘装置，其中

上述第1光源装置及上述第2光源装置的各个是光纤放大激光光源，上述光纤放大激光光源构成为：

上述第1脉冲光源部及上述第2脉冲光源部的各个包含作为上述种子光而产生红外波长区域的脉冲光的半导体激光元件；

上述第1光放大器与上述第2光放大器的各个由光纤放大器构成；

上述第1波长转换光学元件与上述第2波长转换光学元件的各个藉由放大后的上述红外波长区域的种子光的射入而生成作为上述第1射束及上述第2射束的在370nm以下的波长频带具有峰值波长的紫外线。

3.如权利要求2所述的图案描绘装置，其中

上述第1脉冲光源部及上述第2脉冲光源部的各个的上述半导体激光元件，以数百MHz作为上述频率Fb将上述种子光脉冲状地发出。

4.如权利要求1至3中任一权利要求所述的图案描绘装置，其中

上述合成光学部包含将来自上述第1光源装置的上述第1射束及来自上述第2光源装置的上述第2射束合成为同轴并作为上述合成射束射出的分光器，

且进一步具备藉由测量上述合成射束的二维的光强度分布而测量上述第1射束及上述第2射束的同轴性的射束轮廓分析仪。

5.一种基板处理装置，其具备：

权利要求1至4中任一权利要求所述的图案描绘装置、

基板搬送装置，其将作为上述基板的长尺寸片状基板在长边方向上搬送；及

图案层形成装置，其对应由上述图案描绘装置在上述片状基板的光感应层描绘的电子元件用的图案而在上述片状基板上形成上述电子元件用的图案层。