[发明专利]激光接合装置有效
申请号: | 201910086863.8 | 申请日: | 2019-01-29 |
公开(公告)号: | CN110125541B | 公开(公告)日: | 2023-02-17 |
发明(设计)人: | 李俊熙;朴泰泳;金润守 | 申请(专利权)人: | 三星显示有限公司 |
主分类号: | B23K26/20 | 分类号: | B23K26/20;B23K26/70 |
代理公司: | 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 | 代理人: | 李盛泉;孙昌浩 |
地址: | 韩国京畿*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 激光 接合 装置 | ||
本发明的实施例提供如下的激光接合装置,包括:平台,具有与由彼此垂直的第一方向及第二方向定义的平面平行的上表面;激光发生器,沿着第一加压线而向下部方向照射激光;气缸部,沿着第二加压线向下部方向产生加压力,所述第二加压线在所述第一方向上与所述第一加压线平行地相隔;加压部,布置在所述气缸部和所述平台之间,沿着所述第一加压线向下部方向加压所述被加工物;以及传递部,布置在所述气缸部与所述加压部之间而连接所述气缸部及所述加压部,所述传递部将所述加压力从所述第一加压线传递至所述第二加压线。
技术领域
本发明涉及一种激光接合(laser bonding)装置,尤其涉及一种提高显示质量的显示装置。
背景技术
最近,为了将构成电子装置的基板或薄膜电连接,采用利用激光接合的方法。所述基板等部件的接合质量可能被接合对象物的材质、激光的波长/输出、接合速度、接合部位的加压力等左右。其中,加压力可以作为决定接合对象物的质量好坏的重要因素。
发明内容
本发明的目的在于提供提高稳定性的激光接合装置。
根据本发明的实施例的激光接合装置包括:平台,具有与由彼此垂直的第一方向及第二方向定义的平面平行的上表面,且在所述上表面上安置被加工物;激光发生器,沿着与所述平面垂直的第一加压线而向下部方向照射激光;气缸部,布置于所述平台的上部,沿着第二加压线向下部方向产生加压力,所述第二加压线在所述第一方向上与所述第一加压线平行地相隔;加压部,布置在所述气缸部和所述平台之间,沿着所述第一加压线向下部方向加压所述被加工物;以及传递部,布置在所述气缸部与所述加压部之间而连接所述气缸部及所述加压部,将从所述气缸部接收的所述加压力传递给所述加压部,所述传递部将所述加压力从所述第二加压线传递至所述第一加压线。
所述传递部的上表面包括沿着所述第一方向而向下部方向倾斜的至少一个倾斜面。
所述传递部包括:第一传递部,与所述气缸部连接,并沿着所述第二方向延伸;第二传递部,具有与所述平面平行的板形状,所述第二传递部的所述第一方向的一侧与所述第一传递部的下部连接;以及连接部,连接所述第一传递部的侧面及所述第二传递部的上表面,并包括所述倾斜面,所述倾斜面从所述第一传递部的上表面向下部倾斜。
根据本发明的实施例的激光接合装置包括:第一连接部件,布置在所述第一传递部的所述上表面上,连接所述气缸部的下部和所述传递部的上部;以及至少一个第二连接部件,在所述第二传递部的背面上布置于所述第一方向的另一侧,并连接所述传递部的下部和所述加压部的上部。
所述第二传递部及所述连接部分别被提供多个,多个所述第二传递部分别在所述第二方向上布置于所述第一传递部的两侧,多个所述连接部以与所述第二传递部一对一对应地连接。
在所述加压部定义有孔,所述孔在所述平面上与所述第一加压线重叠,在所述激光发生器产生的激光束通过所述孔而照射。
所述加压部包括:加压板,具有与所述平面平行的板形状;以及加压工具,布置于所述加压板的下部,所述孔贯通所述加压板及所述加压工具。
所述加压部还包括固定于所述加压工具的尖部,所述尖部与所述孔连接并使光穿过。
所述加压工具能够从所述加压板装卸。
根据本发明的实施例的激光接合装置还包括:平台移动部,与所述平台连接并使所述平台移动。
根据本发明的实施例的激光接合装置还包括:监视部,与所述平台相邻地布置,并测量所述激光束的形状及性能。
根据本发明的实施例的激光接合装置还包括:框架,包括沿着与所述平面垂直的方向延伸的至少一个导轨,所述气缸部、所述传递部及所述加压部借助于所述导轨而上下移动。
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