[发明专利]一种中测台的储料装置

权利要求书

1.一种中测台的储料装置，包括机箱（1）和机箱（1）铰接的箱盖（11），所述机箱（1）内中空设置，所述机箱（1）内设有用于放置晶圆匣的物料平台（2），其特征在于：所述机箱（1）内设有用于驱动物料平台（2）升降的升降机构（3）和用于驱动升降机构（3）运行的驱动电机（4），所述升降机构（3）包括两根竖直设置的导杆（31），两根导杆（31）转动设置在机箱（1）内底壁，两根导杆（31）之间设有升降螺杆（32），所述升降螺杆（32）转动设置在机箱（1）内，所述物料平台（2）与导杆（31）滑动连接，且与升降螺杆（32）螺纹连接，所述升降螺杆（32）与驱动电机（4）之间设有第一传动机构（5）；

所述机箱（1）与箱盖（11）之间设有铰接轴（12），所述铰接轴（12）转动设置在机箱（1）上，所述箱盖（11）与铰接轴（12）固定连接，所述铰接轴（12）与驱动电机（4）之间设有第二传动机构（6）。

2.根据权利要求1所述的一种中测台的储料装置，其特征在于：所述第一传动机构（5）包括设置在升降螺杆（32）底部的第一锥齿轮（51），所述驱动电机（4）的输出轴上固设有第一传动轴（52），所述第一传动轴（52）背向驱动电机（4）一端设有第二锥齿轮（53），所述第一锥齿轮（51）与第二锥齿轮（53）啮合。

3.根据权利要求2所述的一种中测台的储料装置，其特征在于：所述第二传动机构（6）包括与第一传动轴（52）相互垂直设置的第二传动轴（61），所述第二传动轴（61）与铰接轴（12）相互平行且位于铰接轴（12）正下方，所述第一传动轴（52）朝向第二传动轴（61）一端设有第三锥齿轮（62），所述第二传动轴（61）上设有与第三锥齿轮（62）啮合的第四锥齿轮（63），所述第二传动轴（61）背向第三锥齿轮（62）一端设有主动轮（64），所述铰接轴（12）上设有从动轮（65），所述主动轮（64）与从动轮（65）之间设有传动带（66）。

4.根据权利要求1所述的一种中测台的储料装置，其特征在于：所述物料平台（2）包括基板（21），所述基板（21）上滑动设有托板（22），所述基板（21）与托板（22）之间设有驱动托板（22）滑移的滑移机构（23）。

5.根据权利要求4所述的一种中测台的储料装置，其特征在于：所述滑移机构（23）包括设置在基板（21）上的两条滑槽（231），两条滑槽（231）相互平行设置，所述托板（22）底面设有与滑槽（231）滑动连接的滑轨（232），所述托板（22）底面还设有螺母座（233），所述基板（21）上转动设有滑移螺杆（234），所述滑移螺杆（234）与螺母座（233）螺纹连接，所述滑移螺杆（234）一端设有驱动其转动的滑移电机（235）。

6.根据权利要求5所述的一种中测台的储料装置，其特征在于：两根所述导杆（31）的顶端固设有连接板（33），所述滑移螺杆（234）与连接板（33）转动连接，所述连接板（33）上设有触点开关（34）。

7.根据权利要求5所述的一种中测台的储料装置，其特征在于：所述基板（21）上设有同线设置的第一行程开关（236）和第二行程开关（237），所述托板（22）底面设有限位触点。

8.根据权利要求1所述的一种中测台的储料装置，其特征在于：所述机箱（1）内底壁设有风扇（7），所述风扇（7）位于物料平台（2）下方。

9.根据权利要求8所述的一种中测台的储料装置，其特征在于：所述机箱（1）内设有用于感知物料平台（2）位移的定位传感器。