[发明专利]一种光刻版表面损伤修复溶液及其应用

权利要求书

1.一种光刻版表面损伤修复溶液，其特征在于，包括重铬酸钾、水溶性铬盐、浓硫酸和水；所述修复溶液中各组分的质量比例如下：重铬酸钾11wt.%-21wt.%、水溶性铬盐1wt.%-10wt.%、浓硫酸50wt.%-69wt.%、水15wt.%-25wt.%；

水溶性铬盐为硝酸铬、硫酸铬、氯化铬中的一种以上。

2.根据权利要求1所述的一种光刻版表面损伤修复溶液，其特征在于，所述修复溶液中各组分的质量比例如下：重铬酸钾11wt.%-15wt.%、水溶性铬盐3wt.%-7wt.%、浓硫酸60wt.%-69wt.%、水20wt.%-25wt.%。

3.根据权利要求2所述的一种光刻版表面损伤修复溶液，其特征在于，所述修复溶液中各组分的质量比例如下：重铬酸钾12wt.%、水溶性铬盐4wt.%、浓硫酸63wt.%、水21wt.%。

4.一种利用如权利要求1-3任一项所述的光刻版表面损伤修复溶液的光刻版表面损伤修复方法，其特征在于，包括如下步骤：

（1）将所述修复溶液加热并同时搅拌后，静置；

（2）将光刻版放入所述修复溶液中浸泡并超声；

（3）冲洗光刻版；

（4）干燥光刻版；

（5）吹干光刻版。

5.根据权利要求4所述的一种利用光刻版表面损伤修复溶液的光刻版表面损伤修复方法，其特征在于，步骤（1）中加热温度为40-70℃。

6.根据权利要求4所述的一种利用光刻版表面损伤修复溶液的光刻版表面损伤修复方法，其特征在于，步骤（1）中搅拌的时间为30-60min。

7.根据权利要求4所述的一种利用光刻版表面损伤修复溶液的光刻版表面损伤修复方法，其特征在于，步骤（2）中所述浸泡的时间为30-240min。

8.根据权利要求4所述的一种利用光刻版表面损伤修复溶液的光刻版表面损伤修复方法，其特征在于，步骤（2）中超声的频率为5-30KHz。

9.根据权利要求4所述的一种利用光刻版表面损伤修复溶液的光刻版表面损伤修复方法，其特征在于，步骤（3）中使用去离子水冲洗光刻板，冲洗时间为10-30min。

10.根据权利要求4所述的一种利用光刻版表面损伤修复溶液的光刻版表面损伤修复方法，其特征在于，步骤（4）中将光刻板放入到乙醇中脱水干燥光刻板，在乙醇中处理时间为1-5min。