[发明专利]层叠压电陶瓷部件和压电器件在审
申请号: | 201910091112.5 | 申请日: | 2019-01-30 |
公开(公告)号: | CN110098317A | 公开(公告)日: | 2019-08-06 |
发明(设计)人: | 原田智宏;后藤隆幸;清水宽之;岸本纯明 | 申请(专利权)人: | 太阳诱电株式会社 |
主分类号: | H01L41/083 | 分类号: | H01L41/083;H01L41/047;H01L41/04 |
代理公司: | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人: | 龙淳 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 内部电极 第二区域 第一区域 压电陶瓷部件 第一表面 电极形成 端子电极 交替地层 电连接 隔开 压电陶瓷体 第二表面 压电器件 机械性 上表面 下表面 电极 | ||
本发明提供一种机械性的可靠性高且抑制了高成本化的层叠压电陶瓷部件。上述部件中,压电陶瓷体具有第一区域、第二区域。第一内部电极在第一区域中被引出到第一端面。第二内部电极在第二区域中被引出到第一端面。第三内部电极在第一区域和第二区域被引出到第二端面,与第一内部电极在厚度方向上隔开规定距离地交替地层叠,并与第二内部电极在厚度方向上隔开规定距离地交替地层叠。第一表面电极形成于上表面,与第三端子电极电连接,并与第一内部电极相对。第二表面电极形成于下表面,与第三端子电极电连接,并与第二内部电极相对,且比第一表面电极的长度短。
技术领域
本发明涉及能够用作压电致动器的层叠压电陶瓷部件和压电器件。
背景技术
压电致动器是由具有压电材料和电极的压电元件构成的,利用了当对电极施加电压时,由于逆压电效应而在压电材料产生的变形的致动器。压电致动器存在由两个压电致动器构成的称为双压电晶片型压电致动器的压电致动器。
普通的双压电晶片型压电致动器具有在金属板的正面和背面两面粘贴有压电致动器的结构,使压电致动器的一者伸展而使另一者收缩,由此,能够使整体大幅地产生变位。另外,对于双压电晶片型压电致动器,提供有将两个压电致动器形成为一体型的元件双压电晶片结构的压电致动器(元件双压电晶片致动器)(例如,专利文献1)。
这种压电致动器中,还提出有抑制由于大幅地变位而产生的弯曲引起的破坏的方法(例如,专利文献2)。例如,该技术中,通过将中心附近的压电材料增厚,且随着向外部去而薄层化,从而使压电致动器内的电场强度产生选择性。
现有技术文献
专利文献
专利文献1:国际公开2013/051328号
专利文献2:日本特开平09-289342号公报
发明内容
发明所要解决的课题
但是,专利文献2所记载的技术中,当在一个元件内要变更层厚时,使用层厚不同的多种生片形成为层叠体,因此,要使用具有特殊个数的辊的成型机。因此,制造时的交货时间变长,导致成本增加。另外,在将元件双压电晶片致动器的一端用固定治具固定来使用的情况下,在固定治具附近,伴随弯曲的负荷变大,有时也在固定治具附近造成机械性的元件破坏。
鉴于以上那样的情况,本发明的目的在于,提供能够抑制高成本化,且提高了机械性的可靠性的层叠压电陶瓷部件和压电器件。
用于解决课题的方案
为了达成所述目的,本发明的一个方式提供一种层叠压电陶瓷部件,具有:压电陶瓷体、第一内部电极、第二内部电极、第三内部电极、第一端子电极、第二端子电极、第三端子电极、第一表面电极、第二表面电极。
所述压电陶瓷体是长度>宽度>厚度的长方体形状,具有:在厚度方向上相对的上表面和下表面、在长度方向上相对的第一端面和第二端面、在宽度方向上相对的一对侧面,并且在厚度方向上具有所述上表面一侧的第一区域和所述下表面一侧的第二区域。
所述第一内部电极形成于所述第一区域的内部,并引出至所述第一端面。
所述第二内部电极形成于所述第二区域的内部,并引出至所述第一端面。
所述第三内部电极形成于所述第一区域的内部和所述第二区域的内部,并引出至所述第二端面,该第三内部电极在所述第一区域的内部在厚度方向上与所述第一内部电极隔开规定的距离地交替地层叠,而在所述第二区域的内部在厚度方向上与所述第二内部电极隔开规定的距离地交替地层叠。
所述第一端子电极形成于所述第一端面,并与所述第一内部电极电连接。
所述第二端子电极形成于所述第一端面,并与所述第一端子电极电绝缘而与所述第二内部电极电连接。
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