[发明专利]两转动一平动大行程无耦合大中空并联压电微动平台

权利要求书

1.两转动一平动大行程无耦合大中空并联压电微动平台，包括用作承载物体的动台面(5)，所述的动台面(5)间隙设有底座(1)，其特征是：所述的底座(1)设有呈矩形顺次分布的第一驱动单元(21)、第二驱动单元(22)、第三驱动单元(23)和第四驱动单元(24)；所述的第一驱动单元(21)、第二驱动单元(22)、第三驱动单元(23)和第四驱动单元(24)独立伸缩且设于所述的动台面(5)下，所述的第一驱动单元(21)与第二驱动单元(22)之间设有正对所述的动台面(5)的第一位移传感器(31)，所述的第三驱动单元(23)与第四驱动单元(24)之间设有正对所述的动台面(5)的第二位移传感器(32)，所述的第一驱动单元(21)与第四驱动单元(24)之间设有正对所述的动台面(5)的第三位移传感器(33)；

所述的第一驱动单元(21)、第二驱动单元(22)、第三驱动单元(23)和第四驱动单元(24)的结构相同，包括压电执行器(43)，以及一级桥式放大机构(41)和二级桥式放大机构(42)，所述的一级桥式放大机构(41)平行于所述的底座(1)，所述的压电执行器(43)的两端顶设于所述的一级桥式放大机构(41)内，所述的二级桥式放大机构(42)套设于一级桥式放大机构(41)的外围，且所述的二级桥式放大机构(42)所在的平面垂直于所述的压电执行器(43)的伸缩方向，所述的二级桥式放大机构(42)螺固于所述的动台面(5)和所述的底座(1)。

2.根据权利要求1所述的两转动一平动大行程无耦合大中空并联压电微动平台，其特征是：所述的一级桥式放大机构(41)包括顶设于压电执行器(43)两端的第一刚性部(411)和第二刚性部(412)，以及间隙分设于所述的压电执行器(43)两侧的第三刚性部(413)和第四刚性部(414)，使所述的第一刚性部(411)、第三刚性部(413)、第二刚性部(412)和第四刚性部(414)两两连接的第一柔性薄板(415)；所述的二级桥式放大机构(42)包括螺固于所述的第三刚性部(413)的第五刚性部(421)，螺固于所述的第四刚性部(414)的第六刚性部(422)，螺固于所述的动台面(5)的第七刚性部(423)，螺固于所述的底座(1)的第八刚性部(424)；使第五刚性部(421)、第七刚性部(423)、第六刚性部(422)和第八刚性部(424)两两连接的第三柔性薄板(425)，所述的一级桥式放大机构(41)和所述的二级桥式放大机构(42)分别呈菱形。

3.根据权利要求2所述的两转动一平动大行程无耦合大中空并联压电微动平台，其特征是：所述的一级桥式放大机构(41)设有使所述的第一刚性部(411)、第三刚性部(413)、第二刚性部(412)和第四刚性部(414)两两连接的第二柔性薄板(416)，所述的第二柔性薄板(416)间隙设于压电执行器(43)和所述的第一柔性薄板(415)之间。

4.根据权利要求3所述的两转动一平动大行程无耦合大中空并联压电微动平台，其特征是：所述的第七刚性部(423)正对所述的动台面(5)设有第一螺纹孔(611)，所述的动台面(5)设有与所述的第一螺纹孔(611)相对应的第一沉孔(612)，所述的第一沉孔(612)和第一螺纹孔(611)螺固有第一螺钉(61)；所述的第八刚性部(424)正对所述的底座(1)设有第四螺纹孔(641)，所述的底座(1)设有与所述的第四螺纹孔(641)相对应的第二沉孔(642)，所述的第二沉孔(642)和第四螺纹孔(641)螺固有第四螺钉(64)；所述的第三刚性部(413)正对所述的第五刚性部(421)设有第二螺纹孔(621)，所述的第五刚性部(421)设有与所述的第二螺纹孔(621)相对应的第一通孔(622)，所述的第一通孔(622)和第二螺纹孔(621)螺固有第二螺钉(62)；所述的第四刚性部(414)正对所述的第六刚性部(422)设有第三螺纹孔(631)，所述的第六刚性部(422)设有与所述的第三螺纹孔(631)相对应的第二通孔(632)，所述的第二通孔(632)和第三螺纹孔(631)螺固有第三螺钉(63)；所述的第一刚性部(411)设有连通压电执行器(43)的第六螺纹孔(661)，所述的第六螺纹孔(661)内旋设有第六螺钉(66)。