[发明专利]两平动一转动大行程无耦合并联压电微动平台有效

专利信息
申请号: 201910092853.5 申请日: 2019-01-30
公开(公告)号: CN109879245B 公开(公告)日: 2021-05-07
发明(设计)人: 崔玉国;张圣贤;娄军强;马剑强;周鹏飞;惠相君 申请(专利权)人: 宁波大学
主分类号: B81C99/00 分类号: B81C99/00
代理公司: 宁波市天晟知识产权代理有限公司 33219 代理人: 王美荣;黄晓凡
地址: 315211 浙江省宁波市江北*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 平动 转动 行程 耦合 并联 压电 微动 平台
【权利要求书】:

1.两平动一转动大行程无耦合并联压电微动平台,包括用作承载物体的动台面(3),其特征是:所述的动台面(3)的下方间隙设有定台体(1),所述的定台体(1)的中间设有第一容纳槽(11),所述的第一容纳槽(11)间隙设有动台体(6),所述的动台体(6)和所述的动台面(3)之间螺固有第一螺钉(51);所述的动台体(6)包括互相垂直的第一边缘(61)和第二边缘(62),所述的第一边缘(61)设有第一传导部(71)和第二传导部(72),所述的第二边缘(62)设有第三传导部(73);

所述的第一传导部(71)、第二传导部(72)和第三传导部(73)的结构相同,对应设于所述的动台体(6)边缘的第二容纳槽(701)内,包括分别朝向所述的动台体(6)且间隙设于所述的第二容纳槽(701)内的刚性部(703)和第一柔性薄板(705),设于刚性部(703) 上且连于第一柔性薄板(705)的一端的第一凸部(704),设于动台体(6)上且连于第一柔性薄板(705)的另一端的第二凸部(702),还包括垂直连于刚性部(703)的第二柔性薄板(706),所述的第二柔性薄板(706)的另一端连于所述的定台体(1);所述的定台体(1)在位于第一容纳槽(11)的边缘设有间隙容纳所述的第二柔性薄板(706)的第三容纳槽(12);所述的第一传导部(71)、第二传导部(72)和第三传导部(73)的各自所述的刚性部(703)远离动台体(6)的一端分别设有第一驱动单元(21)、第二驱动单元(22)和第三驱动单元(23);

所述的动台体(6)还包括与所述的第一边缘(61)相平行的第三边缘(63),以及与所述的第二边缘(62)相平行的第四边缘(64);所述的第三边缘(63)设有与所述的第一传导部(71)和第二传导部(72)镜像设置的第四传导部(74)和第五传导部(75);所述的第四边缘(64)设有与所述的第三传导部(73)镜像设置的第六传导部(76)。

2.根据权利要求1所述的两平动一转动大行程无耦合并联压电微动平台,其特征是:所述的第一驱动单元(21)、第二驱动单元(22)和第三驱动单元(23)的结构相同,包括桥式放大机构(2),以及设于所述的桥式放大机构(2)内的压电执行器(207),所述的压电执行器(207)平行于所述的第二柔性薄板(706);所述的桥式放大机构(2)包括分设于所述的压电执行器(207)两端的第一刚性块(201)和第三刚性块(203),间隙设于所述的压电执行器(207)两侧的第二刚性块(202)和第四刚性块(204);所述的第二刚性块(202) 螺固设于所述的定台体(1),所述的第四刚性块(204)螺固设于所述的刚性部(703),以及顺次连于第一刚性块(201)、第二刚性块(202)、第三刚性块(203)和第四刚性块(204)之间的第三柔性薄板(205);所述的第三柔性薄板(205)的一端与所述的压电执行器(207)中段之间的距离小于第三柔性薄板(205)的另一端与所述的压电执行器(207)端部之间的距离。

3.根据权利要求2所述的两平动一转动大行程无耦合并联压电微动平台,其特征是:所述的第四传导部(74)至第六传导部(76)各自的第二容纳槽(701)的数目为1个,对应的刚性部(703)的数目为1个,所述的第一凸部(704)、第二凸部(702)和第一柔性薄板(705)的数目分别为2个且分设于刚性部(703)的两侧。

4.根据权利要求2所述的两平动一转动大行程无耦合并联压电微动平台,其特征是:所述的第一传导部(71)的第二容纳槽(701)的数目为2个,所述的刚性部(703)的数目2个,所述的第一凸部(704)、第二凸部(702)和第一柔性薄板(705)的数目分别为2个且设于相邻的两个刚性部(703)之间,相邻的两个刚性部(703)在位于所述的第三容纳槽(12)内的一端呈一体成型结构。

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