[发明专利]两平动一转动大行程无耦合并联压电微动平台

权利要求书

1.两平动一转动大行程无耦合并联压电微动平台，包括用作承载物体的动台面(3)，其特征是：所述的动台面(3)的下方间隙设有定台体(1)，所述的定台体(1)的中间设有第一容纳槽(11)，所述的第一容纳槽(11)间隙设有动台体(6)，所述的动台体(6)和所述的动台面(3)之间螺固有第一螺钉(51)；所述的动台体(6)包括互相垂直的第一边缘(61)和第二边缘(62)，所述的第一边缘(61)设有第一传导部(71)和第二传导部(72)，所述的第二边缘(62)设有第三传导部(73)；

所述的第一传导部(71)、第二传导部(72)和第三传导部(73)的结构相同，对应设于所述的动台体(6)边缘的第二容纳槽(701)内，包括分别朝向所述的动台体(6)且间隙设于所述的第二容纳槽(701)内的刚性部(703)和第一柔性薄板(705)，设于刚性部(703) 上且连于第一柔性薄板(705)的一端的第一凸部(704)，设于动台体(6)上且连于第一柔性薄板(705)的另一端的第二凸部(702)，还包括垂直连于刚性部(703)的第二柔性薄板(706)，所述的第二柔性薄板(706)的另一端连于所述的定台体(1)；所述的定台体(1)在位于第一容纳槽(11)的边缘设有间隙容纳所述的第二柔性薄板(706)的第三容纳槽(12)；所述的第一传导部(71)、第二传导部(72)和第三传导部(73)的各自所述的刚性部(703)远离动台体(6)的一端分别设有第一驱动单元(21)、第二驱动单元(22)和第三驱动单元(23)；

所述的动台体(6)还包括与所述的第一边缘(61)相平行的第三边缘(63)，以及与所述的第二边缘(62)相平行的第四边缘(64)；所述的第三边缘(63)设有与所述的第一传导部(71)和第二传导部(72)镜像设置的第四传导部(74)和第五传导部(75)；所述的第四边缘(64)设有与所述的第三传导部(73)镜像设置的第六传导部(76)。

2.根据权利要求1所述的两平动一转动大行程无耦合并联压电微动平台，其特征是：所述的第一驱动单元(21)、第二驱动单元(22)和第三驱动单元(23)的结构相同，包括桥式放大机构(2)，以及设于所述的桥式放大机构(2)内的压电执行器(207)，所述的压电执行器(207)平行于所述的第二柔性薄板(706)；所述的桥式放大机构(2)包括分设于所述的压电执行器(207)两端的第一刚性块(201)和第三刚性块(203)，间隙设于所述的压电执行器(207)两侧的第二刚性块(202)和第四刚性块(204)；所述的第二刚性块(202) 螺固设于所述的定台体(1)，所述的第四刚性块(204)螺固设于所述的刚性部(703)，以及顺次连于第一刚性块(201)、第二刚性块(202)、第三刚性块(203)和第四刚性块(204)之间的第三柔性薄板(205)；所述的第三柔性薄板(205)的一端与所述的压电执行器(207)中段之间的距离小于第三柔性薄板(205)的另一端与所述的压电执行器(207)端部之间的距离。

3.根据权利要求2所述的两平动一转动大行程无耦合并联压电微动平台，其特征是：所述的第四传导部(74)至第六传导部(76)各自的第二容纳槽(701)的数目为1个，对应的刚性部(703)的数目为1个，所述的第一凸部(704)、第二凸部(702)和第一柔性薄板(705)的数目分别为2个且分设于刚性部(703)的两侧。

4.根据权利要求2所述的两平动一转动大行程无耦合并联压电微动平台，其特征是：所述的第一传导部(71)的第二容纳槽(701)的数目为2个，所述的刚性部(703)的数目2个，所述的第一凸部(704)、第二凸部(702)和第一柔性薄板(705)的数目分别为2个且设于相邻的两个刚性部(703)之间，相邻的两个刚性部(703)在位于所述的第三容纳槽(12)内的一端呈一体成型结构。